Highlights: Produkte und Lösungen
Sliding Fork: Das stufenlose Teleskophandling zum Substrattransport
Innovative Handlinglösung zum Be- und Entladen von Substraten und Modulen. Das Teleskop-Prinzip mit dreifachem Übersetzungsverhältnis bietet einen Hub von bis zu 2m. Beidseitiges Ausfahren ist mit stufenlos regelbaren Zwischenstops möglich.
- Bauraum = Werkstückgröße
- Optimal auf die Anwendung abgestimmt: Frei wählbare Antriebsarten
Einsatz unter Vakuum bei Beschichtungsprozessen
Kostengünstiger als Roboterlösungen
Beschichtungsprozesse finden unter Vakuum bei Temperaturen von bis zu 200°C statt.
Diesen Anforderungen halten klassisch nur spezielle Reinraumboter stand. Doch auch die Sliding Fork ist ideal auf diesen Prozess ausgerichet.
Einsatz bei Be- und Entladevorgängen unter atmosphärischem Druck
Im Produktionsprozess müssen die Substrate häufig zum Be- und Entladen von Prozessmodulen umgesetzt werden. Die Sliding Fork schlägt Roboterlösungen hier nicht nur bei den Kosten, sondern auch im Bauraum um Längen:
- Bauraum = Werkstückgröße
- Bis zu 50% Kostenersparnis im Vergleich zu Roboterlösungen
- Extrem großer Hub: Bis zu 2m
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