Innovative Pneumatik in der Elektronik
Kleiner, präziser, kompakter und leistungsfähiger...
Der Trend zur Miniaturisierung stellt hohe Anforderungen an Pneumatik-Kompo-nenten in der Elektronik.
Ob Light Assembly, Halbleiterindustrie oder die Herstellung elektronischer Geräte: Festo hat speziell hierfür ein richtungs-weisendes Programm an Zylindern, Ventilen, Steuerungen und Zubehör entwickelt und bietet somit maximale Performance auf minimalem Raum.
Pneumatik in der Halbleiterindustrie
Front End und Back End
Die Halbleiterindustrie unterteilt sich in Front End (Wafer-Processing) und Back End (Test, Assembly, Packaging). Für das Front End Segment bietet Festo eine große Auswahl an pneumatischen Aluminium- und Edelstahlzylindern und verschiedenen Ventiltypen. Diese Ventile dienen zur Ansteuerung der Zylinder und zur Vorsteuerung von Gasventilen. Im Back End Segment richtet sich der Fokus auf die Minia-turisierung von pneumatischen An-trieben und Ventilen. Insbesondere die Mini-Schlitten von Festo sind hoch flexibel auf Grund vielseitiger, direkter Montage- und Anschlussmöglichkeiten. Die Smart Cubic Ventilserie bietet für die Halbleiterindustrie die geeigneten Ventile auf engstem Einbauraum.
Einfach sauber bleiben
Insbesondere in der Halbleiterindustrie müssen viele der Produktionsschritte unter Reinraumbedingungen ablaufen. Denn je empfindlicher die Produktion eines Produktes, desto sauberer muss die Produktionsmethode sein.
Getestet nach VDI
Viele Faktoren beeinflussen die Sauberkeit
Die Reinheit eines Reinraum-Systems hängt von verschiedenen Faktoren wie Luftqualität, Luftstrom, Oberflächen-qualität, Personal und den Betriebs-mitteln ab.
Beispiele für Betriebsmittel sind pneumatische Antriebe und Ventile, die zu einem wesentlichen Anteil an der Umgebungsbelastung in der Produktionsstätte beitragen. Auf diese Anforderungen hat Festo mit einer speziellen, reinraumtauglichen Produktpalette reagiert. Die Qualifizierung dieser Produkte wird nach den deutschen VDI Richtlinien 2083 zur Reinraumtauglichkeit für Betriebsmittel durchgeführt.