電気・電子産業での革新的空気圧機器
より小さく、より精密に、よりコンパクトにそしてよりパワフルに・・・
エレクトロニクス産業での空気圧機器はますます小型化が要求される傾向になってきています。
それがライトアッセンブリ、半導体産業や電気製品メーカであっても、フエストはスペシャルなシリンダやバルブ、コントローラや各種アクセサリを開発し、これにより最少のスペースで最大のパフォーマンスを実現させてきました。
半導体産業での空気圧機器
フロントエンドとバックエンド
半導体産業ではその工程をフロントエンド（ウェハ処理）とバックエンド（テストアッセンブリ、パッケージ）に分けています。フロントエンド用に、フエストではアルミやステンレス製のシリンダと様々なバルブを提供しています。ここでのバルブはシリンダの駆動とガスバルブのパイロットに使用されます。
バックエンドではミニチュアのシリンダやバルブがよく使用されています。特にフエストのミニスライドは、その取り付けと接続方法の多様性において高い順応性を発揮しています。スマートキュービックシリーズの各バルブは、省取り付けスペース性で半導体産業において最適のバルブと言えるでしょう。
クリーンさをキープ
特に半導体産業においては多くの製造ステップをクリーンルームコンディションの中で行わなければなりません。製造過程がセンシティブになればなるほど、製造方法もよりクリーンであることが求められます。
VDIに準じたテスト
クリーン度に影響する様々なファクター
クリーンルームのクリーン度はエアのクオリティ、エアのフロー、表面のクオリティ、従業員や装置など様々なファクターによって決まります。
空気圧シリンダやバルブも含めた装置を例にとると、生産プラントが環境への影響に多大な貢献をすることなどが挙げられます。
フエストはクリーンルームでの使用にピッタリのスペシャルな製品を開発することで、この要求に対する答えを出してきました。
これらの製品は、クリーンルームでの使用の適合性について書いたドイツVDI準拠のガイドライン2083をクリアしたものばかりです。