Automatización en la industria de semiconductores

Precisión y rendimiento para una producción óptima

Perfeccione su producción de semiconductores con soluciones de automatización ideales: para procesos estables, máxima precisión y requisitos de espacio mínimos. Como socios de la industria de chips y semiconductores, conocemos los retos que debe superar. Le ayudamos tanto con componentes estándar innovadores como con soluciones personalizadas que se adaptan perfectamente a sus procesos y sistemas. Nuestras soluciones tienen en cuenta las normas del sector, como la generación de partículas o la desgasificación.

Con nuestras soluciones de automatización de alta calidad y fácilmente personalizables, puede utilizar tecnologías innovadoras y competitivas desde el Front End hasta el Back End, pasando por el Advanced Packaging, como el pegado híbrido. Están optimizadas para minimizar la contaminación, funcionar de forma fiable y mantener así su rendimiento a largo plazo. Gracias a su diseño constructivo, podrá reducir en muchos casos los costes energéticos y su huella ecológica.

Soluciones que mantienen sus procesos permanentemente estables y reproducibles

Nuestras soluciones de automatización garantizan un rendimiento estable y, por tanto, económico en la producción de semiconductores. El diseño inteligente de nuestros componentes también los hace especialmente adaptables y escalables. De este modo, podrá reaccionar con rapidez y sencillez a los cambios en los requisitos de producción en cualquier momento.

Benefíciese de estas ventajas con nuestras soluciones de automatización:

  • Control de alta precisión del movimiento, presión y caudal de los fluidos
  • Clean-Design para la limpieza y la emisión de partículas necesarias
  • Diseño que ahorra espacio para entornos de instalación compactos
  • Menor consumo de energía y menor generación de calor
  • AI/IoT-ready
  • Disponibilidad fiable en todo el mundo gracias a la producción y entrega locales
  • ¡Cumplimiento de los requisitos de CopyExactly!
  • Apoyo experto personalizado para retos específicos del proceso
  • Grasas y juntas específicas para semiconductores que evitan la desgasificación no deseada

Producción con precisión de repetición y control en tiempo real mediante AI

Confíe en nuestras soluciones integrales para mantener sus procesos estables y reproducibles a largo plazo. Gracias a nuestras juntas y grasas específicas para semiconductores, también se beneficiará de una desgasificación mínima para lograr secuencias de proceso ideales. Ya se trate del control individual de la temperatura, el microposicionamiento o el control cíclico preciso de las fases gaseosas en la deposición de capas atómicas (ALD), desarrollamos soluciones a medida para usted.

Le ayudamos, por ejemplo, con:

  • Control de temperatura para Wafer-Chuck, cámara de proceso o generador de plasma
  • Pin-Lift y microposicionador con detección de fuerza
  • Control de válvulas para la deposición de capas atómicas (ALD)
  • Purga y regeneración seguras de las cámaras de vacío
  • Pilotaje de válvulas UHP para una regulación fiable de los gases de proceso