Atmosferische processen in halfgeleiderproductie

Festo vertrouwt op een "Inverted Gantry" voor de handling van wafers tussen FOUP en Load-Lock. Deze cartesische robots zorgen voor een veilige en snelle verplaatsing van de wafers in een atmosferische omgeving. De oplossing is ruimtebesparend en kan ook geïntegreerd worden in bestaande EFEMs.

Aanbevolen producten:
Elektrische as ELGD

Onze wereldwijd unieke wafer aligner combineert eindeffector en aligner in één compact systeem. Het scoort punten voor zijn voorzichtige handling, optimale reproduceerbaarheid en extreem lage footprint. Onze automatiseringsoplossing positioneert de wafer direct op de vork, herkent markeringen zoals inkepingen, lijnt de wafer dienovereenkomstig uit en laadt deze met uiterste precisie in de proceskamer. Deze combinatie van verschillende stappen in één module verkort de cyclustijden, de EFEM heeft aanzienlijk minder ruimte nodig en het aantal wafer picks, d.w.z. hoe vaak de wafer wordt opgepakt en neergelegd, wordt verminderd. De contactloze uitlijning wordt bereikt met behulp van het Bernoulli effect. Dit betekent dat de wafer ook omgedraaid ("flippen") en ondersteboven in het proces gebracht kan worden.

De Pin Lift voor wafers maakt precieze en trillingsvrije positionering van de wafer mogelijk met een nauwkeurigheid tot op een micrometer. End-to-end beweging van het substraat zonder trillingen is ook mogelijk om de zogenaamde wafer walk te vermijden. Een groot voordeel is dat het systeem de kracht herkent die nodig is om de wafer op te tillen, bijvoorbeeld uit een Slectro-static-Wafer Chuck (ESC). Dit vermindert het risico op microscheurtjes in de wafer of zelfs volledige waferbreuk aanzienlijk. De pneumatische oplossing is compacter dan elektrische systemen, vermindert elektrische componenten zoals motoren en motorcontrollers en dus ook warmtestraling, omdat de regelventielen niet direct naast de proceskamer hoeven te worden gepositioneerd. Gespecialiseerde aandrijvingen voor hoogvacuüm kunnen ook worden aangestuurd met regelventielen van Festo.

Het systeem genereert en levert gegevens die je kunt gebruiken om de status van de installatie te bewaken. Hiervoor kunt u bestaande algoritmen uit de Festo AI tool "Festo AX" gebruiken en deze in uw installatie integreren als afzonderlijke module of als een volledig, gepersonaliseerd systeem.

Aanbevolen producten:
Ventilinsel VTEP
Besturing CPX-E
Sensor SDAT

Onze N2 purge oplossingen voor het creëren en behouden van schone atmosferen voorkomen op betrouwbare wijze oxidatie door zuurstof uit de atmosfeer en verontreiniging door deeltjes in de lucht. U vindt het juiste systeem voor elke toepassing, van lage tot hoge debieten, bijvoorbeeld voor FOUP's. Ons portfolio omvat mass flow controllers (MFC) als eenkanaalsoplossing en ventieleilanden met meerdere MFC's als multi channel solution. Voor EFEM's, SMIF/FOUP-stockers of die banks bieden we purge-oplossingen met een bijzonder compacte footprint. Het systeem genereert gegevens die je kunt gebruiken om de toestand van de installatie te bewaken, met name de verontreinigingsgraad van de gebruikte filters. Vermijd ongeplande machinestilstand en optimaliseer uw proces verder.

Aanbevolen producten:
Onze mass flow controllers VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

Bij het coaten van substraten met fotolakken/photoresists (PR), wat onder andere kostenintensief kan zijn, zorgenonze aansturingen van het doseerventiel voor nauwkeurige laagdiktes. En dus voor een stabiele en reproduceerbare proceskwaliteit en optimale economische efficiëntie. De Suck-Back-functie voorkomt dat druppels aan de buitenkant van de spuitpunt blijven hangen. Onze ventielen zorgen voor een nauwkeurige PR-dosering en terugtrekking van de laatste druppel, waardoor de gevoelige media worden beschermd tegen zuurstof uit de atmosfeer.

Aanbevolen producten:
Doseerventielen VEAB en VTEP
Door medium gescheiden magneetventielen VYKA/ VYKC
Elektrische aandrijvingen van EPCO en ERMO en bijbehorende sensoren

Onze ventielen en sensoren regelen de procesmedia in het sub-fab, in hook-up en WFE/tool met hoge precisie en efficiëntie. Of het nu gaat om slurry met schurende deeltjes, natte chemie zoals zuren of logen, DI-water of oplosmiddelen - ongeacht of de installatie plaatsvindt in een Dry Box, een schakelkast of direct op de tool - en ongeacht of uw focus ligt op minimale footprint, deeltjeszuiverheid, snelle schakeltijden of speciale omgevingsvereisten zoals hoge temperatuur of chemische belasting: Festo biedt betrouwbare ventiel- en besturingsoplossingen voor elke toepassing - voor een langdurige en betrouwbare halfgeleiderproductie.

Onze systemen kunnen gegevens genereren die je kunt gebruiken om de status van de installatie te bewaken. Hiervoor kunt u bestaande algoritmen uit de Festo AI tool "Festo AX" gebruiken en deze in uw installatie integreren als afzonderlijke module of als een volledig, gepersonaliseerd systeem.

Aanbevolen producten:
Ventielen VTOC, MH1, MHA2 en VUVG/ VTUX
Sensoren SPTE, SPAN en SPAF

De zogenaamde Bowl Lift maakt gebruik van pneumatische aandrijvingen waarmee vloeibare procesmedia gericht kunnen worden afgescheiden, hergebruikt of afgevoerd op een gecontroleerde manier. De respectieve opvangbakken ("Bowls of kommen") worden nauwkeurig gepositioneerd en stevig vastgehouden, afhankelijk van het medium of de vereiste spuithoogte. Tegelijkertijd helpt het systeem om trillingen en schokken tijdens de werking van de installatie aanzienlijk te verminderen.

Onze systemen kunnen gegevens genereren die je kunt gebruiken om de status van de installatie te bewaken. Hiervoor kunt u bestaande algoritmen uit de Festo AI tool "Festo AX" gebruiken en deze in uw installatie integreren als afzonderlijke module of als een volledig, gepersonaliseerd systeem.

Aanbevolen producten:
Ventilinsel VTEP
Ciylinder DFM
Besturing CPX-E
Sensor SDAT

Bij Chemisch-mechanisch polijsten (CMP) zorgt onze pneumatische regeling voor een dynamische en zeer nauwkeurige contactkracht tussen de wafer en de leptafel. De piëzoventielen regelen de druk in realtime en maken het mogelijk om de wafers voorzichtig aan te drukken en op te tillen. In combinatie met onze druksensoren zorgen de ventielen voor een bijzonder hoge nauwkeurigheid.

Aanbevolen producten:
Piëzoventielen VTEP en VEAB
Drucksensor SPAN
Door medium gescheiden magneetventiel VYKC

In nat proces installaties zoals centrifuges of coater lines is het belangrijk dat de deur naar de proceskamer betrouwbaar werkt. Vooral belangrijk in de cleanroom: het moet de wafers betrouwbaar beschermen tegen besmetting, zelfs onder onverwachte omstandigheden - zoals een stroom- of luchtstoring - en mag zelf geen bron van deeltjes zijn. Onze oplossingen voor rolluiken omvatten betrouwbare en nauwkeurige ronde cilinders met speciale smeermiddelen voor automatisch verbreekcontact. Onze pneumatische interlock systemen zorgen ook voor veilige vergrendeling. De gebruikte sensoren geven betrouwbare feedback over de positie.

Aanbevolen producten:
Ronde cilinder DSNU
Interlock-systemen VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Sensoren SPTE, SPAN en SPAF

We bieden tal van speciale oplossingen voor de handling van FOUP's, SMIF-pods, substraten en reticles in sterk geautomatiseerde halfgeleiderfabrieken. Met ons systeem Inverted Gantry realiseren we ruimtebesparende en economische bewegingen in de EFEM, terwijl onze innovatieve wafer aligner het laadproces versnelt door geïntegreerde uitlijning en zo de cyclustijden verkort. Voor FOUP's leveren we krachtige N2 purge-systemen met nauwkeurige regeling, naar keuze als single of multi channel solution, waarmee u het aantal I/O's kunt verminderen of meerdere MFC's kunt bedienen met één busmodule. We ontwikkelen ook compacte systemen voor SMIF/FOUP-stoppers of die banks die zelfs lage debieten nauwkeurig regelen en een zuivere beschermende atmosfeer garanderen.

We bieden speciale oplossingen voor natte processen zoals PR-coating, development, strip of SpinClean. Onze oplossingen, zoals ventielen en sensoren, regelen uw high purity ventielen van PFA, PTFE, PVDV of PP of uw ultra high purity ventielen van roestvast staal met hoge precisie en efficiëntie, en u profiteert ook van een lange levensduur dankzij de bijzonder zachte bediening. Onze systemen kunnen gegevens genereren die je kunt gebruiken om de status van de installatie te bewaken. Hiervoor kunt u bestaande algoritmen uit de Festo AI tool "Festo AX" gebruiken en deze in uw installatie integreren als afzonderlijke module of als een volledig, gepersonaliseerd systeem.
Of het nu gaat om installatie in een Dry Box, schakelkast of rechtstreeks op de tool, of uw focus nu ligt op een minimale footprint, deeltjeszuiverheid, snelle schakeltijden, speciale omgevingsvereisten zoals hoge temperatuur of chemische belasting, wij bieden de juiste oplossing voor elke toepassing. Doseer agressieve chemicaliën, terwijl ventielen met een Suck-Back-functie druppelen tijdens PR-dosering voorkomen en zorgen voor exacte mediahoeveelheden. Voor spin-cleaning-processen leveren we pneumatische aandrijvingen die de bowl lift regelen en de spatbescherming of mediumafscheider continu in de vereiste positie zetten. Op deze manier ondersteunen we veilig, efficiënt en contaminatievrij procesbeheer. En zo een kleine bijdrage leveren aan een duurzaam productieproces. Door het gebruik van innovatieve ventieltechnologie kunt u met Festo direct elektrische energie besparen en zo uw CO2footprint verkleinen. Wij begeleiden u graag op uw weg naar een "green fab".

Wij bieden speciale oplossingen voor CMP-processen die maximale precisie en dynamiek vereisen, vooral bij Advanced Packaging. Onze zeer nauwkeurige piëzoventielen maken een exacte regeling van de contactdruk mogelijk - cruciaal voor een gecontroleerde en gelijkmatige materiaalafname. Op deze manier ondersteunen we niet alleen de proceskwaliteit en het minimaliseren van afkeur, maar helpen we ook uw procestijden te verkorten. We ontwikkelen ook oplossingen die de efficiëntie en beschikbaarheid van CMP-installaties verbeteren, bijvoorbeeld in combinatie met conditioneerpads of intelligente automatiseringscomponenten.

We bieden uitgebreide oplossingen voor de automatisering van alle gebieden en processtappen in de Semicon fab. In innovatieve fabrieken bijvoorbeeld ondersteunen we technologische vooruitgang met ons onderzoek en onze baanbrekende producten. In de SubFab zorgen we voor een betrouwbare toevoer van media en stabiele processen zoals de behandeling van afvalwater of afvalgassen. Van nauwkeurige ventielen en intelligente aandrijvingen tot complete handlingsystemen, onze automatiseringsoplossingen leveren een betrouwbare bijdrage aan het stabieler, sneller en energiezuiniger maken van productieprocessen.

Gebruik de gegevens die onze oplossingen genereren en bewaak de machinestatus of optimaliseer uw proces - gebruik de "Festo AX" OF-oplossingen van Festo, als individuele OF-module voor een speciale toepassing of als gepersonaliseerde totaaloplossing voor uw installatie.

Verminder het energieverbruik in uw systeem en in de hele fabriek door gebruik te maken van innovatieve Festo technologie. Bespaar twee keer met ons! Verminder het energieverbruik van uw installatie en optimaliseer het verbruik van perslucht en inerte gassen. Wij begeleiden u op uw missie om de CO2footprint te verminderen.

Wij bieden innovatieve oplossingen voor Advanced Packaging, die een centrale rol speelt in moderne chiplets zoals HBM. Voor processen zoals flip-chip of fusion/hybrid bonding toeleveren we nauwkeurige handling actuators om "squeeze-outs" bij het lijmen te voorkomen. Profiteer van nauwkeurige actuators waarmee u precieze bewegingen kunt realiseren met een nauwkeurigheid van 1µm.
Meet de buiging van de wafers (warped wafers) en trek ze op je chuck.

Bewaak de processen en machinestatus met Festo AX. Profiteer van de innovatieve Festo technologie in uw fusion/hybrid bonder en verhoog de procesbetrouwbaarheid en kwaliteit in veeleisende Advanced Packaging.