Onder atmosferische omstandigheden spelen automatiseringsoplossingen een sleutelrol in de halfgeleiderproductie. Hieronder vallen processen zoals het aanbrengen en verwijderen van fotolakken (photoresist coating en strip), reinigingsprocessen of CMP. Bovendien moeten tal van handling- en logistieke processen in hoge mate geautomatiseerd en betrouwbaar zijn.