Massadebietregelaar VEFC Met de VEAD- en VEFC-ventielen kan het stikstofverbruik tot 75% worden verminderd bij het spoelen van FOUP's. Deze oplossingen zijn speciaal ontworpen voor toepassingen voor het doseren van inerte gassen en bieden voordelen zoals een hoge dynamiek, weinig deeltjesvorming en een lange levensduur.
Festo gebruikt piëzo-elektrische buigers in deze regelventielen als technische innovatie. Deze technologie maakt een traploze, nauwkeurige regeling van het ventiel mogelijk door een spanning toe te passen. Het gebruik van efficiënte piëzotechnologie minimaliseert ook het stroomverbruik. In totaal kunt u tot 18% van uw totale stikstofverbruik besparen en de CO 2 -uitstoot met bijna 1/5 verminderen.