Стремежът да се постигне въглеродна неутралност и да се намалят въздействията на CO2 върху климата не е лесно начинание за никоя индустрия – особено за производителите на полупроводници. Производителите трябва да са в крак с огромното търсене на световния пазар, който се очаква да нарасне до над 1000 милиарда щатски долара до 2030 г. Една от причините за това е бурното нарастване на потреблението на потребителска електроника в световен мащаб. От друга страна, основна роля играе разработването на модерни ИТ приложения като изкуствен интелект, Интернет на нещата и технологии за машинно обучение.
Поради изключително прецизния и сложен производствен процес голям брой газове и химически вещества се използват в стотици етапи на процеса, напр. отлагане на тънки пластове, нанасяне на покрития, химико-механично полиране (CMP), литография, измервателна техника, ецване и много други. Във всеки случай азотът е далеч по-напред по отношение на общото потребление.
Нарастващото търсене на все по-малки, високоразвити полупроводници и чипове принуждава производителите да работят в инертна или нереактивна среда през целия производствен процес. Изключително малките литографски структури и дебелината на атомните слоеве върху wafer биха се разрушили при контакт с кислород. Обикновено това се предотвратява посредством продухване с азот на Front Opening Unified Pods (FOUP) или други производствени системи с азотен газ с ултрависока чистота (UHP) без частици. Тъй като азотът може да бъде отделен в големи количества от въздуха, тази защитна мярка е промишлен стандарт от десетилетия. Търсенето е огромно, както и потенциалът за икономии. Ето защо прецизното дозиране на азота при производството на полупроводници е естествен избор, ако искате да използвате потенциалите за икономии.
За Вас и за много други производители намаляването на потреблението на енергия и емисиите на въглероден диоксид може да изглежда незначително, когато се справяте с това огромно търсене. Въпреки това си заслужава да следите за намаляване на потреблението на енергия и емисиите на въглероден диоксид. По-ниските емисии на азот на произведено изделие wafer и намаленото количество, което трябва да произведете за това, Ви помагат да увеличите yield, тъй като процесите на компресиране и охлаждане консумират много енергия при производството на UHP азот.
Можете също така да пестите енергия в производството, например посредством използване на енергийно ефективни компоненти. Устойчивото намаляване на потреблението на електроенергия също така осигурява по-малко нагряване на компонентите и следователно по-ниски изисквания за охлаждане на чистите помещения. С намалените емисии и устойчивите производствени методи CO2 отпечатъкът на Вашата компания може да бъде значително подобрен.
За авторите
Торстен Шулц
Head of Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG
Тобиас Глатбах
Global Industry Segment Electronics
Festo SE & Co. KG
