Блендите са най-простата форма на регулирането на дебита на азота. Това са механични обновявания (фиксирани отвори) в системата от маркучи, през които преминава определено количество азот при постоянно налягане. Предимството: изключително благоприятни общи разходи, често по-малки от 90 евро - включващи както монтажа, така и прост превключващ клапан и самата бленда. Това ги прави идеални за прости приложения за регулиране на дебита на азот при стабилни условия.
Често използван продукт в този контекст е разпределителят MH1. Това е евтин стандартен разпределител, който в комбинация с бленда предлага функционално, аналогово решение за регулиране на газовия поток в промишлеността. В много приложения тази комбинация е достатъчна - особено ако инвестиционното налягане е високо или не се изисква цифрова обратна връзка.
Въпреки това има ясни граници:
Трябва също да се отбележи: Ако все пак искате да записвате измерените стойности по-късно, е необходим допълнителен хардуер (напр. отделни сензори за налягане или дебит, както и необходимият вход на контролера), което увеличава разходите и сложността на системата. Въпреки много дългия експлоатационен живот и надеждността на разпределителя, простите превключващи разпределители като MH1 не са идеални за критични по отношение на чистотата процеси поради своята конструкция, тъй като се очакват по-високи емисии на частици в сравнение със специалните регулатори на масовия поток.
Въпреки това много производствени линии продължават да разчитат на този принцип - особено когато е необходимо да се поддържат постоянни само прости обемни потоци и съответни филтри реабсорбират частиците. Въпреки това, когато се изискват динамични настройки, надежден мониторинг или проследяване на процеса, това решение бързо достига своите граници.
Контролерите на масовия поток, като VEFC, VEMD или VEAD, предлагат методи за управление на потока азот, които не могат да се осъществят чрез фиксирани бленди или регулируеми дросели:
Самите устройства не са "интелигентни" по смисъла на автономно откриване на аномалии, но са подготвени за ИИ. В комбинация с мониторинг на филтъра, сензори за налягане и алгоритми може да се разпознае на пр. степента на замърсяване на филтъра , което позволява навременна сервизна поддръжка без прекъсване на производството.
Преди да вземете решение за конкретен разпределител, трябва да разгледате внимателно техническите изисквания и средата на приложение. Всеки разпределител има своите силни страни - по отношение на дебита, размера или свързаността.
Макар че простите системи изглеждат значително по-евтини за закупуване, надеждните регулиращи вентили с функция за наблюдение предлагат решаващи предимства:
Един пример: В система с 50 регулиращи вентили един прост дисплей на всяко устройство може да помогне за бързото идентифициране на дефектните зони - без цифрово отчитане.
Съвременните контролери за масов поток предоставят ценни данни - дебит, налягане, температура - които могат да бъдат интегрирани в системи от по-високо ниво, като например Festo AX. Това открива възможности като:
Тези устройства не са "интелигентни" сами по себе си, но са подготвени за ИИ - и са в основата на устойчиви на бъдещето производствени процеси, поддържани от данни.
Изборът на подходящ разпределител зависи от много фактори:
В бъдеще ще използваме интерактивен инструмент за изготвяне на персонализирани препоръки, който ще предлага най-доброто решение за вас чрез задаване на конкретни въпроси - от обикновени бленди до VEFC с изкуствен интелект.
Регулирането на азота в производството на полупроводници е нещо повече от технически въпрос - то оказва влияние върху качеството, стабилността на процеса и разходите. Независимо дали се нуждаете от просто решение или от най-съвременна технология за управление, решаващ фактор е какво изисква Вашето приложение. С правилния избор осигурявате не само експлоатационна надеждност, но и ефективност и устойчивост в бъдеще.