Прецизно управление на инертни газове: изгодната алтернатива
Регулаторът на масов дебит VEFC е идеален за полупроводниковата промишленост, а всъщност и навсякъде, където е необходимо прецизно да се контролират инертни газове. Много компактният VEFC разширява продуктовото портфолио на Controlled Pneumatics. В същото време той притежава всички предимства на пиезовентилите: максимална динамика, безстепенна прецизност, много ниска консумация на енергия и загряване, стабилен дебит без ръчно регулиране – и много добро съотношение между цена и качество.
Икономично, безопасно и прецизно продухване с N2
С VEFC в товарния порт могат да се регулират най-различни дебити в отделните етапи на прочистване. По време на предварителното продухване, предварителното прочистване, прочистването на процеса и последващото прочистване VEFC гарантира, че се използва само абсолютно необходимото количество азот. Така спестявате азот и съкращавате времето на процеса до достигане на атмосферата на сухия защитен газ.
