Automação na indústria dos semicondutores

Precisão e desempenho para excelente rendimento da produção

Aperfeiçoe sua produção de semicondutores com soluções de automação ideais - para processos estáveis, máxima precisão e requisitos mínimos de espaço. Como parceiros da indústria de chips e semicondutores, conhecemos os desafios que você enfrenta. Nós o apoiamos com componentes padrão inovadores e soluções personalizadas que se encaixam perfeitamente em seu processo e sistema. Nossas soluções levam em consideração os padrões do setor, como a geração de partículas ou a liberação de gases.

Com nossas soluções de automação de alta qualidade e facilmente personalizáveis, você pode empregar tecnologias inovadoras e competitivas, do front-end ao back-end, para Advanced Packaging, como a colagem híbrida, por exemplo. Elas são otimizadas para minimizar a contaminação, trabalhar de forma confiável e, assim, manter seu rendimento a longo prazo. Graças ao seu design construtivo, é possível reduzir os custos de energia e a pegada ecológica.

Soluções que mantêm seus processos permanentemente estáveis e reproduzíveis

Nossas soluções de automação garantem um rendimento estável eeconômico na produção de semicondutores. O design inteligente de nossos componentes também os torna particularmente adaptáveis e escalonáveis. Isso lhe permite reagir com rapidez e simplicidade às mudanças nos requisitos de produção a qualquer momento.

Você se beneficia destas vantagens com nossas soluções de automação:

  • Controle de alta precisão do movimento, pressão e vazão dos meios
  • Design claro para a pureza necessária e emissão de partículas
  • Design compacto para ambientes de instalação com pouco espaço
  • Consumo de energia minimizado e geração de calor reduzida
  • Pronto para IA/IoT
  • Disponibilidade mundial confiável graças à produção e entrega locais
  • Conformidade com os requisitos do CopyExactly!
  • Suporte especializado personalizado para desafios específicos do processo
  • Graxas e vedações específicas para semicondutores para evitar a liberação indesejada de gases

Produzir com repetibilidade precisa e controleem tempo real com o uso de IA

Confie em nossas soluções holísticas para manter seus processos estáveis e reproduzíveis a longo prazo. Graças às nossas vedações e graxas específicas para semicondutores, você também se beneficia daliberação mínima de gases para sequências de processo ideais. Seja controle individual de temperatura, microposicionamento ou controle cíclico preciso das fases de gás na deposição de camada atômica (ALD) - desenvolvemos soluções personalizadas para você.

Nós o apoiamos, por exemplo, no

  • Controle da temperatura para Wafer-Chuck, câmara de processo ou gerador de plasma
  • Pin-Lift e microposicionamento com detecção de força
  • Controle de válvula para deposição de camada atômica (ALD)
  • Segurança na drenagem e regeneração das câmaras de vácuo
  • Controle piloto de válvulas UHP para controle confiável dosgases de processo

As vantagens em resumo

Conhecemos os complexos desafios enfrentados pelos fabricantes de semicondutores e oferecemos soluções personalizadas. Também o apoiamos com um know-how prático sólido e nossa rede de suporte global. Nossos especialistas estão sempre a postos para ajudá-lo a melhorar as funções de seus sistemas e minimizar os tempos de parada.

Você pode confiar em nós como seu parceiro ideal de automação:

  • Alta confiabilidade para uma operação segura e consistente em todas as etapas do processo
  • Resposta rápida em situações críticas com análise da causa mediante uso de tecnologia de ponta e minimização de riscos
  • Soluções de tecnologia aberta com componentes pneumáticos e elétricos
  • Consideração dos padrões CopyExactly! com sua própria diretriz global
  • Suporte à cadeia de suprimentos global para um processo de produção suave

Perguntas frequentes

Com que soluções damos suporte aos nossos parceiros da indústria de semicondutores?

Nossas soluções de automação para o setor de semicondutores focam a precisão, a eficiência energética, o espaço de instalação e a flexibilidade - desde produtos de catálogo até soluções específicas que se encaixam em seu sistema exatamente de acordo com suas especificações. Além dos padrões do setor, a relação custo-benefício do sistema é um pré-requisito fundamental. Nossas principais áreas incluem o controle preciso de circuitos de resfriamento mediante terminais de válvulas e sensores, a redução do consumo de nitrogênio por meio da inovadora tecnologia piezoelétrica e o manuseio eficiente de wafers e chips por sistemas de manuseio compactos e modulares. Além disso, nosso Festo Automation Experience (Festo AX) emprega inteligência artificial para a otimização dos processos de produção com base em dados, a fim de aumentar a qualidade e a eficiência. Para aplicações específicas, oferecemos soluções personalizadas, como o controle de pinos de elevação e o fornecimento de gás para processos de polimento químico. Dessa forma, ajudamos os fabricantes de semicondutores a reduzir os custos de produção, aumentar a disponibilidade do sistema e melhorar a qualidade do produto.

A quem se destina a nossa oferta?

Nossas soluções de automação são voltadas principalmente para toda a indústria de semicondutores, operadores de fábricas de semicondutores, bem como OEMs de sistemas de produção e engenheiros de processo no front-end e no back-end até Advanced Packaging. Os desenvolvedores e planejadores de sistemas complexos no setor de tecnologia de eletrônicos e microssistemas também se beneficiam de nossas soluções.

Onde você pode utilizar nossas soluções em seus sistemas/WFE ou ferramentas e máquinas?

Nossas soluções de automação são projetadas para o uso em sistemas, equipamentos de fabricação de wafer (WFE) e ferramentas para a produção de semicondutores, bem como na área sub-fab. Isso inclui componentes e sistemas para fornecimento de gás, circuitos de resfriamento, tecnologia de vácuo e soluções de movimento em salas limpas. Com terminais de válvulas compactos, tecnologia piezoelétrica e sensores inteligentes, nossos componentes dão suporte à estabilidade do processo e à eficiência energética. Na área subfab, nossos sistemas automatizados contribuem para o suporte seguro, com economia de espaço e baixa manutenção de processos críticos de suprimento. Aqui é possível fazer uma distinção entre produtos de catálogo, incluindo produtos de commodity, com ótima disponibilidade mundial,e uma solução específica para o cliente construída de acordo com suas especificações.

Qual é a expertise da Festo nas áreas de front-end, back-end e Advanced Packaging?

Temos muitos anos de ampla experiência nas áreas de front-end, back-end e Advanced Packaging em semicondutores. Grande parte de nosso portfólio de produtos foi desenvolvida em estreita cooperação com a indústria, de acordo com suas necessidades. A base de clientes da Festo inclui quase todas as fábricas e OEMs internacionais de renome. Nossos produtos comprovados e inovadores incluem soluções personalizadas para cada um dos estágios de produção, desde o processamento do wafer até a montagem e o empacotamento. Graças ao nosso profundo conhecimento das necessidades e dos desafios de nossos clientes, podemos oferecer soluções personalizadas que atendem de forma confiável aos altos requisitos de precisão, limpeza e confiabilidade em todas as fases da produção de semicondutores.

Que benefícios e serviços adicionais a Festo oferece à indústria de semicondutores?

Como parceiro confiável da indústria de semicondutores, oferecemos suporte de engenharia, consultoria de aplicação e soluções de sistema personalizadas para requisitos de produção específicos, além de nossas soluções de automação. Também o apoiamos com serviços digitais, como monitoramento de condições, manutenção preditiva e o uso de IA para otimização de processos. Formação, suporte técnico mundial e entrega rápida de peças de reposição completam nossa gama de serviços.

Quais serviços e padrões nossos são de particular importância para os fabricantes de semicondutores?

Para nossos clientes da indústria de semicondutores, nossos produtos compatíveis com salas limpas, máxima confiabilidade do processo e uma longa vida útil são particularmente importantes. Se algo não sair como planejado, você se beneficia de uma análise rápida do motivo da falha, investigada na Festo com o emprego de métodos modernos de análise. Também implementamos um sistema abrangente de gerenciamento de alterações e descontinuações que nos permite atender aos seus requisitos padrão do setor, como o "CopyExact!" (CE!) - cumprir. Também oferecemos produtos para aplicações em salas limpas, que podem ser acondicionados em embalagens duplas, mediante solicitação.