Automação na indústria dos semicondutores

Aplicação: controlar e regular circuitos de refrigeração

Seu desafio: regular, de forma segura, a refrigeração na produção de semicondutores

Solução da Festo:

• Terminais de válvula VTUG e VTOC (1) para o controle das válvulas pneumáticas
• Terminais de válvula tipo CPX-MPA se forem necessárias entradas/saídas adicionais, por exemplo, para controlar válvulas elétricas, integrar sensores ou criar circuitos de controle fechados. Esse terminal pode realizar funções de diagnóstico e de manutenção remotas.
• As válvulas acionadas pneumática ou eletricamente tipo VZXA, VZQA e VZWF (3) controlam o fluxo dos meios. Meios muito frios e/ou quentes são regulados de forma confiável e precisa, mesmo em circuitos de controle fechados.
• O atuador de um quarto de volta DFPD (4) aciona válvulas de esfera VZBF (5) e válvulas de aba que são normalmente utilizadas nas linhas principais e, também, nas linhas de alimentação/descarga para a refrigeração ou controle da temperatura do meio, devido às suas elevadas vazões.
• Os sensores tipo SFAW (2) e SPAW (6) medem a vazão, a temperatura e a pressão dos meios, de forma muito precisa.

Produtos para a indústria dos semicondutores

A Festo possui um amplo portfólio de produtos para máquinas de produção de componentes eletrônicos: os terminais de válvula VTOC com função de segurança integrada ou os nossos reguladores de pressão proporcional VEAA/VEAB, para o controle de válvulas de processo, normalmente utilizadas para o controle e a regulagem dos gases do processo.