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Régulation de pression ultra-précise et dynamique en espace restreint

Le nouveau terminal de distributeurs proportionnels VTEP élargit la gamme de produits de pneumatique proportionnelle. Il se distingue par sa régulation de pression multicanale extrêmement compacte pour faible débit. Jusqu'à 5 distributeurs avec 10 canaux de travail peuvent être contrôlés en parallèle avec de la pression et du vide. VTEP ne comporte ni cuivre, ni nickel, ni zinc, ce qui le rend idéal pour de nombreux secteurs tels que l'électronique et les semi-conducteurs, les sciences de la vie, le textile ainsi que la fabrication de batteries.

Parfait pour de nombreuses applications

Polissage de haute précision, à force contrôlée

La pression d'appui variable des différentes chambres de polissage de l'appareil de polissage est commandée avec grande précision et garantit d'excellents résultats de polissage, même lors du polissage de wafers avec le VTEP.

Application VTEP : polissage de haute précision avec force contrôlée

Contrôle parfait des rouleaux danseurs

Régulations de tension de bande : une régulation parfaite en cas de forces inattendues améliore la sécurité du processus. VTEP convient par exemple pour le contrôle de la trajectoire des films de batterie.

Application VTEP : contrôle parfait pour des rouleaux danseurs

Distributeur pilote pour l'automatisation de process

Les distributeurs tels que le VTEP servent également de distributeurs pilotes pour les distributeurs de fluides. En photolithographie, par exemple, les wafers doivent être scellés très précisément avec un vernis résistant à la lumière. Une fonction de ré-aspiration permet d'éviter qu'aucun surplus de vernis ne s'échappe.

Application VTEP : distributeur pilote pour l'automatisation de process

Distribuer, doser ou pomper par pression ou par vide

VTEP permet de réaliser des applications telles que le patch-clamping par le biais de la pression et du vide. Mais il est également possible de doser avec une grande précision et selon une recette individuelle de la peinture, de la colle ou des liquides destinés à être testés et analysés. Ni l’automatisation électrique ni la pneumatique standard ne peuvent le faire.

Application VTEP : Distribuer, doser ou pomper par pression ou par vide