Inerte Gase präzise steuern: die günstige Alternative
Besonders für die Semicon-Industrie, aber eigentlich überall, wo inerte Gase präzise gesteuert werden müssen, ist der Massendurchflussregler VEFC genau richtig. Der sehr kompakte VEFC erweitert das Produktportfolio der Controlled Pneumatics. Gleichzeitig verfügt er über alle Vorteile von Piezoventilen: höchste Dynamik, stufenlose Präzision, sehr geringer Stromverbrauch und Erwärmung, stabiler Durchfluss ohne manuelles Nachstellen – bei sehr gutem Preis-Leistungs-Verhältnis.
Sparsames, sicheres und präzises N2-Purging
Mit VEFC im Loadport lassen sich verschiedenste Durchflüsse in den einzelnen Purge-Steps regeln. Bei Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge und Post-Purge gewährleistet VEFC, dass nur die unbedingt notwendige Stickstoffmenge verbraucht wird. So sparen Sie Stickstoff und verkürzen die Prozesszeit, bis die trockene Schutzgasatmosphäre erreicht ist.
