Les orifices représentent la forme la plus simple de réguler le flux d'azote. Il s'agit de rétrécissements mécaniques (trous fixes) dans le système de tuyaux, par lesquels passe une quantité définie d'azote à pression constante. L'avantage : un coût total extrêmement bas, souvent inférieur à 90 € - avec le montage ainsi qu'une simple valve de commutation et l'orifice elle-même. Ils sont donc parfaits pour les applications simples de réglage de débit de l'azote dans des conditions stables.
Le distributeur MH1 est souvent utilisé dans de telles applications. Il s'agit d'une vanne standard bon marché qui, associée à un orifice, offre une solution analogue fonctionnelle pour le réglage du débit de gaz dans l'industrie. Dans de nombreuses applications, cette combinaison suffit, notamment lorsque la pression sur les investissements est élevée ou qu'aucun retour d'information numérique n'est nécessaire.
Il existe toutefois des limites évidentes :
Il faut en outre tenir compte du fait que : Si l'on souhaite tout de même enregistrer des mesures, du matériel supplémentaire est nécessaire (par ex. par des capteurs de pression ou de débit séparés ainsi que l'entrée nécessaire sur la commande en boucle ouverte), ce qui augmente les coûts et la complexité du système. Malgré la durée de vie et la fiabilité très élevées du distributeur, les distributeurs simples comme le MH1 ne sont pas optimaux pour les processus critiques en termes de pureté en raison de leur conception, car il faut s'attendre à une émission de particules plus élevée par rapport aux régulateurs de débit massique dédiés.
Néanmoins, de nombreuses lignes de production continuent de miser sur ce principe, notamment lorsque seuls des débits simples doivent être maintenus constants et que des filtres réabsorbent les particules. Mais dès qu'il s'agit de procéder à des ajustements dynamiques, à un suivi fiable ou à la traçabilité des processus, cette solution atteint rapidement ses limites.
Les régulateurs de débit massique comme VEFC, VEMD ou VEAD offrent des méthodes de régulation en boucle ouverte du débit d'azote, contrairement aux orifices fixes ou aux valves de régulation ajustables :
Les appareils eux-mêmes ne sont certes pas « intelligents » car incapables d'une détection autonome des anomalies mais ils sont IA-ready. En combinaison avec la surveillance des filtres, les capteurs de pression et les algorithmes, il est par exemple possible de détecter le niveau de pollution des filtres, ce qui permet une maintenance à temps et sans interrompre la production.
Avant d'opter pour une vanne précise, il convient d'examiner attentivement les exigences techniques ainsi que l'environnement d'utilisation. Chaque vanne comporte des points forts, que ce soit en termes de débit, de taille ou de connectivité.
Alors que les systèmes simples semblent nettement moins chers à l'achat, les manodétendeurs fiables avec fonction de surveillance offrent des avantages décisifs :
Exemple : dans une installation de 50manodétendeurs, un simple affichage sur chaque appareil peut aider à identifier rapidement les points défectueux - sans relevé numérique.
Les régulateurs de débit massique modernes fournissent des données précieuses - débit, pression, température - qui peuvent être intégrées dans des systèmes de niveau supérieur comme Festo AX. Ils ouvrent de nouvelles possibilités comme :
Ces appareils ne sont pas « intelligents » en soi, mais ils sont IA-ready - et constituent la base du processus de fabrication d'avenir basé sur les données.
Le choix de la vanne adaptée dépend de nombreux facteurs :
Pour une recommandation personnalisée, nous miserons à l'avenir sur un outil interactif qui vous proposera la solution optimale en posant des questions ciblées - d'un simple orifice au VEFC compatible avec IA.
La régulation de l'azote dans la fabrication des semi-conducteurs est bien plus qu'une question technique secondaire - elle influence la qualité, la stabilité des processus et les coûts. Solution simple ou technique de régulation ultramoderne : ce qui compte, c'est ce dont votre application a besoin. En faisant le bon choix, vous vous assurez non seulement la sécurité de fonctionnement, mais aussi l'efficience et la pérennité.