Un modo per resistere a questa pressione sui prezzi è ridurre significativamente il consumo di azoto e l'energia necessaria per la produzione. L'azoto è il mezzo più utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori. Nelle grandi fabbriche di semiconduttori, il consumo di azoto può raggiungere i 50.000 metri cubi l'ora. L'azoto viene utilizzato, tra l'altro, per lo spurgo dei FOUP, al fine di creare un ambiente controllato e privo di contaminazione per i wafer che vengono trasportati da una macchina all'altra per la lavorazione.
Un'attenta analisi delle aree in cui l'azoto viene utilizzato, all'interno della fabbrica, e la riduzione mirata dei consumi, possono portare a notevoli risparmi in breve tempo. Lo spurgo dei FOUP, in particolare, offre molte opportunità di utilizzare l'azoto in modo efficiente attraverso un dosaggio attivo con ciclo di regolazione chiuso. Rispetto alle valvole convenzionali, le valvole di spurgo piezoelettriche erogano con elevata precisione e allo stesso tempo consumano pochissima energia. Grazie a sistemi adeguati, è possibile ridurre in modo significativo il consumo di azoto di una grande fabbrica e i relativi consumi energetici ed emissioni di CO2.
