Applicazione: controllo e regolazione dei circuiti di raffreddamento
Il vostro problema: regolare in modo affidabile il mezzo di raffreddamento nella produzione dei semiconduttori
La soluzione Festo:
- Unità di valvole VTUG e VTOC (1) per un controllo affidabile di valvole pneumatiche per fluidi
- Unità di valvole del tipo CPX-MPA, se sono necessari altri I/O, ad esempio per controllare valvole elettriche, integrare sensori o creare circuiti di controllo chiusi. In questo modo, è possibile implementare anche funzioni di diagnostica e di manutenzione in remoto.
- Le valvole ad azionamento pneumatico o elettrico di tipo VZXA, VZQA, VZWF (3) controllano il flusso del liquido. Anche in un circuito di controllo chiuso i supporti molto freddi e/o caldi sono controllati in modo affidabile e preciso.
- L'attuatore oscillante DFPD (4) attiva valvole a sfera VZBF (5) e valvole a farfalla, le quali, grazie alla loro elevata portata, vengono installate generalmente sulla linea principale o sulla linea di mandata/ritorno del fluido di raffreddamento/temprante.
- I sensori di tipo SFAW (2) e SPAW (6) misurano con elevata precisione portate, temperature e pressioni dei fluidi.
Prodotti per l'industria dei semiconduttori
Festo offre un'ampia gamma di prodotti per macchine per la produzione di componenti elettronici: l'unità di valvole VTOC con funzione Safety integrata oppure i nostri riduttori di pressione proporzionali VEAA/VEAB per il prepilotaggio di valvole dei fluidi, così come vengono generalmente utilizzate nel controllo o nella regolazione dei gas di processo.
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