Control preciso de gases inertes: la alternativa rentable
El regulador de caudal másico VEFC resulta especialmente ideal para la industria de semiconductores, pero también en cualquier sector donde sea necesario controlar con precisión los gases inertes. El muy compacto VEFC amplía la gama de productos de Controlled Pneumatics. También cuenta con todas las ventajas de las válvulas piezoeléctricas: máxima dinámica, precisión continua, consumo de energía y calentamiento muy bajos, caudal estable sin reajuste manual; y todo ello con una excelente relación calidad-precio.
Purga de N2 económica, segura y precisa
Con VEFC en el puerto de carga, se puede regular una amplia variedad de caudales en los pasos de purga individuales. Durante el presoplado, el prepurgado, el purgado del proceso y el pospurgado, VEFC garantiza que sólo se utiliza la cantidad de nitrógeno absolutamente necesaria. Esto ahorra nitrógeno y acorta el tiempo de proceso hasta que se alcanza la atmósfera seca de gas de protección.
