Výroba plátků na vstupní části procesu:
Řešení pro aplikace

Selected products:

For wafer production

For the front-end sector 

 

Application examples:

Upevňovací deska připravená k přímé montáži

Výroba plátků: upevňovací deska

Správné napětí při řezání plátků

Kompletní s proporcionálními ventily, jednotkami pro úpravu stlačeného vzduchu a zesilovačem tlaku: upevňovací desku lze snadno objednat, je připravená k přímé montáži a s úplnou dokumentací.

Naše servisní a prodejní síť po celém světě Vám dá jistotu a zajistí vysokou úroveň provozní dostupnosti zařízení.

Bezpečné ovládání plynových ventilů

Zaplynovací skříň

CVD, litografie, leptání, iontová implantace

V těchto procesních krocích je bezpečnost přepínání ventilů pro média zásadní, aby se zamezilo nesprávnému sepnutí.

Ventilový terminál VTOC disponuje dvoukanálovým ovládáním ventilů prostřednictvím veškerých běžných systémů průmyslových sítí (Ethercat), které zaručuje bezpečné spínání.

Šetrná zdvihací zařízení

Zdvihací zařízení

Plynulé polohování FOUP

Harmonizovaná sada pohonu složená z přímočarého pohonu EGC a servomotoru EMMS-AS přesně polohuje, aby nedošlo k jakémukoli poškození křehkých plátků.

Na vyžádání: individuálně přizpůsobená řešení pro zdvihání s pneumatickým vyvažováním pomocí protizávaží pro případ velkých zatížení nebo řešení pro čisté prostory

Spolehlivé procesy rozvodu médií

Rozvod médií

Proces CMP

Během leštění povrchu plátků zajišťuje ventilový terminál CPX/MPA s diagnostickou funkcí a sledováním stavu zařízení vyšší spolehlivost procesů a lepší úroveň provozní dostupnosti zařízení.

Individuálně přizpůsobený rozvod chladicí kapaliny

Rozvod chladicí kapaliny

Řešení připravená k přímé montáži

Ventilové terminály, ventily se šikmým sedlem a průtokoměry: v procesu PVD zajišťují individuálně přizpůsobené soustavy rozvodu chladicí kapaliny, aby výrobní proces probíhal hladce.

Na vyžádání: potrubí z nerezové oceli nebo PVC

Your worldwide contacts:

Worldwide contacts

Festo industry team