Automatizace v průmyslu polovodičů


Examination Microchop

Zařízení, která dnes konstruujete, musí již za 18 měsíců vyrábět dvakrát složitější čipy – a to bez změny cen. To se vyplatí pouze s automatizovanými řešeními, která pracují spolehlivě a hospodárně. Dobře víme, jak důležitá je pro výrobce polovodičů a elektronických součástí absolutní disponibilita zařízení. Jaké výrobky a služby potřebujete? Jsme Vám nablízku po celém světě.

Váš požadavek: spolehlivá regulace chladicího média při výrobě polovodičů

Úloha: řízení a regulace chladicích okruhů s řešeními Festo

Řešení Festo:

• Ventilové terminály VTUG a VTOC (1) pro spolehlivé ovládání pneumatických ventilů pro různá média

• Ventilové terminály CPX-MPA, používají-li se další vstupy/výstupy, např. pro ovládání elektrických ventilů, připojení snímačů nebo vytvoření uzavřených regulačních okruhů. Přitom lze rovněž realizovat funkce diagnostiky a údržby na dálku.

• Pneumaticky nebo elektricky ovládané ventily typu VZXA, VZQA, VZWF (3) řídí průtok médií. I v uzavřeném regulačním okruhu jsou velmi studená a/nebo horká média spolehlivě a přesně regulována.

• Kyvné pohony DFPD (4) ovládají kulové kohouty VZBF (5) a klapky, které se z důvodu vysokého průtoku typicky používají v hlavním vedení resp. v přívodu/odvodu chladicího/ohřívacího média.

• Snímače SFAW (2) a SPAW (6) měří s vysokou přesností průtoky a teploty médií resp. tlak médií.

Novinky pro průmysl polovodičů

U Festo najdete široké portfolio výrobků pro stroje na výrobu elektronických součástí: ventilové terminály VTOC s integrovanou bezpečnostní funkcí nebo proporcionální redukční ventily VEAA/VEAB pro regulaci ventilů na různá média, které se typicky používají v řízení resp. regulaci procesních plynů.

Ventilové terminály VTOC

Ventilové terminály VTOC

Kompaktní pilotní ventily pro univerzální pneumatické aplikace. A navíc větší bezpečnost díky možnosti Interlock. Ovládání vícepólovým konektorem nebo po průmyslové síti. VTOC jsou rovněž vhodné pro IO-Link®.

Více informací o VTOC

Ventily se šikmým sedlem VZXA

Ventily se šikmým sedlem VZXA

Výjimečný průtok, provedení pro snadné čištění a modulární konstrukce. Tělesa ventilů a pohony lze libovolně kombinovat: získáte tak větší přizpůsobivost požadovaným úlohám.

Více informací o VZXA

Proporcionální redukční ventily VEAA

Proporcionální redukční ventily VEAA

Pro tlak do 10 barů: díky piezotechnologii jsou ventily VEAA velmi přesné a s mimořádnou životností. Další výhody: výjimečně krátké spínací časy, bezhlučný provoz a velmi malá spotřeba energie.

Více informací o VEAA

Další výrobky pro průmysl polovodičů

Výrobky pro čistý prostor s klasifikací ISO

Člověk v čistém prostoru

Pro každý výrobek pro čistý prostor Festo najdete přesné údaje, v jakých třídách čistého prostoru podle ISO 14644-1 se může používat. Nejdůležitější informace na toto téma najdete zde.

Informace o čistém prostoru

Úspora nákladů a času s hotovými řešeními Festo určenými k přímé montáži

Hotová řešení Festo určená k přímé montáži

Naši projektoví inženýři navrhují řešení určená k přímé montáži individuálně podle Vaší aplikace. Obdržíte řešení – pro přímou integraci do svých strojů.

Informace o hotových řešeních určených k přímé montáži

Kompletní řešení s optimálním využitím prostoru

Speciální licí pryskyřice zaručují, že elektronické součásti zůstávají chráněny před nečistotami a vlhkostí. Účinné nanášení tohoto materiálu vyžaduje nejvyšší technické umění, protože probíhá v malém prostoru při pohybu po složitých křivkách. A ty jsou stále nové. Neboť elektronický průmysl je typický malými a nejmenšími výrobními dávkami, kterým se musí stroje rychle, jednoduše a hospodárně přizpůsobovat.

Světový trh těchto mikrodávkovacích systémů vede společnost bdtronic GmbH z bádensko-württemberském Weikersheimu. Protože klade důraz na vysokou přizpůsobivost a optimální využití prostoru při absolutní přesnosti a spolehlivosti, zvolila pro svoje mikrodávkovací zařízení kompletní řešení společnosti Festo: s malým manipulačním systémem YXMx jako hlavní jednotkou.

Čtěte celý úspěšný příběh v časopisu pro zákazníky