Waferherstellung und Front-End-Bereich:
Produkthighlights und Applikationen

Ausgewählte Produkte:

für die Waferherstellung

für den Front-End-Bereich 

 

Applikationsbeispiele:

Einbaufertige Montageplatte

Waferherstellung: Montageplatte

Richtige Spannung beim Sägen der Wafer

Komplett mit Proportionalventilen, Wartungsgeräten und Druckbooster: Die Montageplatte ist einbaufertig, dokumentiert und einfach zu bestellen.

 

Unser weltweites Service- und Vertriebsnetz gibt Ihnen Sicherheit und sorgt für eine hohe Anlagenverfügbarkeit.

 

Sichere Ansteuerung von Gasventilen

Gasbox

CVD, Lithografie, Ätzen, Ionenimplantation

Bei diesen Prozessschritten kommt es auf das sichere Schalten der Medienventile an, um Fehlschaltungen zu vermeiden.

 

Die Ventilinsel VTOC garantiert mit 2-kanaligem Ansteuern der Ventile über alle gängigen Bussysteme (Ethercat) diese Sicherheit.

Sanfte Lifter-Systeme

Lifter-Systeme

Ruckfreies Positionieren der FOUPs

Das abgestimmte Antriebspaket aus Linearantrieb EGC mit Servomotor EMMS-AS positioniert exakt, um die fragilen Wafer nicht zu beschädigen.

 

Auf Wunsch: kundenspezifische Lifter-Lösungen mit pneumatischem Counter-Balancing für große Lasten oder Lösungen für den Reinraum.

 

Prozesssichere Medienverteilung

Medienverteilung

CMP-Prozess

Beim Polieren der Waferoberflächen sorgt die Ventilinsel CPX/MPA mit Diagnosefunktion und Condition Monitoring für mehr Prozesssicherheit und höhere Anlagenverfügbarkeit.

Maßgeschneiderte Kühlwasserverteilung

Kühlwasserverteilung

Einbaufertige Lösungen

Ventilinsel, Schrägsitzventile und Durchflusssensoren: Beim PVD-Prozess sorgen kundenspezifische Kühlwassersysteme dafür, dass der Fertigungsprozess optimal funktioniert.

 

Auf Wunsch: Verrohrung in Edelstahl oder PVC

Ihr Ansprechpartner weltweit:

Ansprechpartner weltweit

Festo Branchenteam

 

Ihr Ansprechpartner weltweit:

Kontakt Semicon

Branchenteam Solar