Gasventile sicher ansteuern in Beschichtungsprozessen
Ventilinsel VTOC
- Spezielle Ventilinsel für den Einsatz als Vorsteuerventil
- 2-kanalige Ansteuerung der Medienventile über alle gängigen Bussysteme vermeidet Fehlschaltungen
- Integriertes Lichtleitersystem für höchste Prozesssicherheit
Wie auf Wolken: Werkstücke berührungslos und schonend transportieren
Luftlager ATBT
- Gleichmäßige Tragkraft über die gesamte Luftkissenplatte für erhöhte Prozesssicherheit
- Kontaktloser Transport auf hauchdünnem Luftkissen bei minimalem Luftverbrauch
- Einzelelemente oder als Schiene in kundenspezifischen Längen verfügbar
Sicherer und schneller Transport von Glasplatten im Hochvakuum
Teleskophandling Sliding Fork
- Stabil auch bei Gewichten über 10 kg
- Für hohe Temperaturen geeignet = kostengünstige Alternative zu Reinraumrobotern
- Spezielle Glasauflagen vermeiden Markierungen auf der Glasplatte.
- Bauraum = Werkstückgröße
- Ruckfreie und exakte Bewegungen bis 2.100 mm mit elektrischem Spindelantrieb
Wafer und Solarzellen schnell und sicher transportieren
H-Portal mit Bernoulli-Greifer OGGB
Das High-Speed H-Portal EXCM ist schnell, präzise und platzsparend.
In Kombination mit dem Bernoulli-Greifer OGGB für kontaktarmes Greifen werden die empfindlichen Wafer schonend transportiert.
Dieses Prozess läuft ausgesprochen sicher und ist sparsam im Druckluftverbrauch.
