Projekt- und Lösungshighlights

Sliding Fork: Das stufenlose Teleskophandling zum Substrattransport

Sliding Fork

 

Innovative Handlinglösung zum Be- und Entladen von Substraten und Modulen. Das Teleskop-Prinzip mit dreifachem Übersetzungsverhältnis bietet einen Hub von bis zu 2.100 mm. 

  • Bauraum = Werkstückgröße
  • Beidseitiges Ausfahren mit stufenlos regelbaren Zwischenstopps 
  • Ideal auf die Bedingungen in Prozesskammern ausgelegt
Festo Sliding Fork zum Einsatz bei Beschichtungsprozessen im Vakuum

Einsatz unter Vakuum bei Beschichtungsprozessen

Die Sliding Fork führt die Substrate zum Beschichten in die Prozesskammern ein.

  • Beschichtungsprozesse unter Vakuum bei Temperaturen von bis zu 200°C
  • Kostengünstiger als spezielle Reinraumroboter
Festo Sliding Fork für Be-und Entladevorgänge: Kastengünsige und platzsparende Alternative zu Roboterlösungen

Einsatz bei Be- und Entladevorgängen unter atmosphärischem Druck

Im Produktionsprozess müssen die Substrate häufig zum Be- und Entladen von Prozessmodulen umgesetzt werden. Die Sliding Fork schlägt Roboterlösungen hier nicht nur bei den Kosten, sondern auch im Bauraum:

  • Bis zu 50 % Kostenersparnis im Vergleich zu Roboterlösungen
  • Extrem großer Hub: bis zu 2.100 mm

Stufenloses Teleskophandling Sliding Fork

Sicherer und schneller Transport bei Hochvakuum