Automatisierung in der Halbleiterindustrie

Examination Microchop

Die Anlage, die Sie heute bauen, muss schon in 18 Monaten doppelt so komplexe Chips produzieren – ohne dass Sie am Preis drehen könnten. Das rechnet sich nur mit automatisierten Lösungen, die verlässlich und wirtschaftlich arbeiten. Wir wissen gut, wie wichtig absolute Anlagenverfügbarkeit für die Hersteller von Halbleitern und elektronischen Bauteilen ist. Welche Produkte und Services brauchen Sie? Wir sind weltweit für Sie vor Ort.

Ihre Herausforderung: Bei der Halbleiterfertigung das Kühlmedium zuverlässig regeln

Anwendung: Kühlkreisläufe steuern und regeln mit Lösungen von Festo

Die Lösung von Festo:

• Ventilinseln VTUG und VTOC (1) zur zuverlässigen Ansteuerung von pneumatischen Medienventilen

• Ventilinsel des Typs CPX-MPA,wenn zusätzlich I/Os benötigt werden, um z. B. elektrische Ventile anzusteuern, Sensoren einzubinden oder geschlossene Regelkreise aufzubauen. Bei dieser können auch Diagnose- und Fernwartungsfunktionen realisiert werden.

• Pneumatisch oder elektrisch betätigte Ventile des Typs VZXA, VZQA, VZWF (3) steuern den Medienfluss. Auch in einem geschlossenen Regelkreis werden sehr kalte und/oder heiße Medien zuverlässig und genau geregelt.

• Schwenkantrieb DFPD (4) betätigt Kugelhähne VZBF (5) und Klappenventile, die wegen der hohen Durchflussleistung typischerweise in der Hauptleitung bzw. in der Zu-/Ableitung des Kühl-/Temperiermediums eingesetzt werden.

• Sensoren des Typs SFAW (2) und SPAW (6) messen mit hoher Genauigkeit Durchflüsse und Medientemperaturen bzw. Mediendruck.

Highlight Produkte für die Halbleiterindustrie

Festo hat ein breites Produktportfolio für Maschinen zur Fertigung elektronischer Bauteile: Die Ventilinsel VTOC mit integrierter Safety-Funktion oder unsere Proportional-Druckregelventile VEAA/VEAB zur Vorsteuerung von Medienventilen wie sie typischerweise in der Steuerung bzw. Regelung von Prozessgasen eingesetzt werden.

Ventilinsel VTOC

Ventilinsel VTOC

Die kompakte Vorsteuerventilinsel für vielfältige pneumatische Anwendungen. Plus mehr Sicherheit durch die Interlock Option. Ansteuerung über Multipol- oder Feldbus. VTOC ist auch für IO-Link® geeignet.

Mehr zum VTOC

Schrägsitzventil VZXA

Schrägsitzventil VZXA

Extreme Durchflussstärke, reinigungsfreundliches Design und modularer Aufbau. Ventilkörper und Antriebe sind frei kombinierbar: Damit erhalten Sie mehr Flexibilität in der Anwendung.

Mehr zu VZXA

Proportional-Druckregelventil VEAA

Proportional-Druckregelventil VEAA

Für Druckbereiche bis 10 bar: Piezotechnologie macht VEAA hochpräzise und extrem langlebig. Weitere Vorteile: Extrem kurze Schaltzeiten, geräuschloser Betrieb und ein sehr geringer Energieverbrauch.

Mehr zum VEAA

Weitere Produkte für die Halbleiterindustrie

ISO-klassifizierte Produkte für den Reinraum

Mann im Reinraum

Für jedes Reinraumprodukt von Festo finden Sie genaue Angaben, in welchen Reinraumklassen es nach ISO 14644-1 verwendet werden kann. Das Wichtigste zu diesem Thema finden Sie hier.

Informationen zu Reinraum

Kosten und Zeit sparen mit Einbaufertigen Lösungen von Festo

Einbaufertige Lösungen von Festo

Unsere Projektingenieure konzipieren Einbaufertige Lösungen individuell auf Ihre Applikation zugeschnitten. Sie erhalten Systemlösungen – anschlussfertig zur Integration in Ihre Maschinen.

Informationen zu den Einbaufertigen Lösungen

Komplettlösung mit optimaler Raumausnutzung

Spezielle Gießharze sorgen dafür, dass Elektronikbauteile vor Schmutz und Feuchtigkeit geschützt bleiben. Dieses Material effizient aufzutragen, verlangt höchste Ingenieurskunst, denn das geschieht auf engstem Raum in komplexen Kurvenfahrten. Und zwar in immer neuen. Denn die Elektronikindustrie ist geprägt von Klein- und Kleinstserien, weshalb sich die Maschinen schnell, einfach und wirtschaftlich umstellen lassen sollten.

Weltweit führender Anbieter von derartigen Mikrodispenser-Systemen ist die bdtronic GmbH im baden-württembergischen Weikersheim. Weil das Unternehmen Wert auf hohe Flexibilität und optimale Raumausnutzung bei absoluter Präzision und Prozesssicherheit legte, wählte es für seinen mini-dis eine Komplettlösung von Festo: mit dem kleinbauenden Handlingsystem YXMx als Herzstück.

Lesen Sie die ganze Erfolgsgeschichte im Kundenmagazin