Fabricación de obleas y área Front end:
Caraterísticas del producto y aplicaciones

Productos seleccionados:

para la fabricación de obleas

para el área Front end 

 

Ejemplo de aplicación:

Placa de montaje preparada para montar

Fabricación de obleas: placa de montaje

Tensión adecuada al aserrar las obleas

Completa con válvula proporcional, unidades de mantenimiento e intensificador de presión: la placa de montaje está preparada para montar, documentada y su pedido es sencillo.

 

Nuestra red de asistencia técnica y comercial le da seguridad y posibilita una alta disponibilidad de la instalación.

 

Accionamiento seguro de válvulas de gas

Cámara mezcladora de gas

CVD, litografía, grabado, implantación de iones

En estos pasos de proceso es importante conmutar de forma segura las válvulas de fluidos para evitar conmutaciones incorrectas.

 

El terminal de válvulas VTOC garantiza esta seguridad con una activación de las válvulas mediante dos canales a través de todos los sistemas de bus habituales (Ethercat).

Sistemas de elevación sensibles

Sistemas de elevación

Posicionamiento sin sacudidas de los FOUP

El conjunto de accionamiento adaptado compuesto por actuador lineal EGC con servomotor EMMS-AS posiciona de forma precisa para no dañar las frágiles obleas.

 

A petición: soluciones de elevación específicas para cada cliente con Counter-Balancing neumático para cargas pesadas o soluciones para la sala limpia

 

Distribución de fluidos robusta para uso en la industria de procesos

Distribución de fluidos

Proceso CMP

Durante el pulido de la superficie de las obleas el terminal de válvulas CPX/MPA con función de diagnóstico y Condition Monitoring ofrece mayor seguridad en los procesos y una mayor disponibilidad de la instalación.

Distribuidor de agua de refrigeración individualizado

Distribuidor de agua de refrigeración

Soluciones listas para montar

Terminal de válvulas, válvula de asiento inclinado y sensor de caudal: en el proceso PVD los sistemas de agua de refrigeración específicos para cada cliente garantizan que el proceso de fabricación funcione de forma óptima.

 

A petición: conductos de acero inoxidable o PVC

Su contacto en todo el mundo:

Equipo de contacto en todo el mundo

Equipo de expertos de Festo