Productos seleccionados:
Ejemplo de aplicación:
Placa de montaje preparada para montar
Tensión adecuada al aserrar las obleas
Completa con válvula proporcional, unidades de mantenimiento e intensificador de presión: la placa de montaje está preparada para montar, documentada y su pedido es sencillo.
Nuestra red de asistencia técnica y comercial le da seguridad y posibilita una alta disponibilidad de la instalación.
Accionamiento seguro de válvulas de gas
CVD, litografía, grabado, implantación de iones
En estos pasos de proceso es importante conmutar de forma segura las válvulas de fluidos para evitar conmutaciones incorrectas.
El terminal de válvulas VTOC garantiza esta seguridad con una activación de las válvulas mediante dos canales a través de todos los sistemas de bus habituales (Ethercat).
Sistemas de elevación sensibles
Posicionamiento sin sacudidas de los FOUP
El conjunto de accionamiento adaptado compuesto por actuador lineal EGC con servomotor EMMS-AS posiciona de forma precisa para no dañar las frágiles obleas.
A petición: soluciones de elevación específicas para cada cliente con Counter-Balancing neumático para cargas pesadas o soluciones para la sala limpia
Distribución de fluidos robusta para uso en la industria de procesos
Proceso CMP
Durante el pulido de la superficie de las obleas el terminal de válvulas CPX/MPA con función de diagnóstico y Condition Monitoring ofrece mayor seguridad en los procesos y una mayor disponibilidad de la instalación.
Distribuidor de agua de refrigeración individualizado
Soluciones listas para montar
Terminal de válvulas, válvula de asiento inclinado y sensor de caudal: en el proceso PVD los sistemas de agua de refrigeración específicos para cada cliente garantizan que el proceso de fabricación funcione de forma óptima.
A petición: conductos de acero inoxidable o PVC
