Projets et solutions

Manipulateur téléscopique : un manipulateur variable à l'infini pour le transport des substrats

Sliding Fork

 

Une solution de manipulation innovante pour le chargement et le déchargement des substrats et modules. Le principe téléscopique avec triple ratio de transmission offre une course allant jusqu'à 2 m.

  • Espace d'installation = taille de la pièce de travail
  • Extension aux deux extrémités avec des possibilités d'arrêts intermédiaires infinies
  • Parfaitement conçu pour les ambiances hygiéniques
Manipulateur téléscopique utilisé sous vide

Utilisation sous vide pour les process de revêtement

Plus économique que les solutions robotiques

Le manipulateur téléscopique insère le substrat pour revêtement dans les chambres de process.

  • Opérations réalisées sous vide à des températures allant jusqu'à 200°C
  • Moins coûteux que les robots dédiés aux salles blanches
Manipulateur téléscopique utilisé sous pression atmosphérique

Utilisation sous pression atmosphérique pour les opérations de chargement et déchargement

Tout au long de la production des modules, les substrats sont fréquemment repositionnés lors du chargement et du déchargement. Le manipulateur téléscopique remplace avantageusement les solutions robotiques dans ce contexte, non seulement au niveau du coût mais aussi au niveau de l'espace d'installation :

  • Espace d'installation = taille de la pièce de travail
  • Economies allant jusqu'à 50 % par rapport aux solutions robotiques
  • Très longue course : jusqu'à 2 m