Sélection de produits :
Exemples d'applications :
Platine prête à l'emploi pour le pilotage de l'air comprimé
Pilotage de l'effort de coupe lors du sciage des wafers
Platine intégrant l'unité de traitement d'air, un suspresseur et des vannes proportionnelles. Il ne reste plus qu'à installer la platine livrée avec sa documentation détaillée.
Pilotage sûr des vannes de gaz
Gravure chimique (CVD), lithographie, gravure et dopage
Dans ces étapes, la commutation fiable des vannes de gaz est essentielle pour garantir la qualité du produit fini et la sécurité de l'installation.
Le terminal de distributeurs VTOC dispose de 2 canaux pour le pilotage des vannes de gaz : par bus de terrain (EtherCAT) et par entrées TOR. Cette redondance garantit une commutation en toute sécurité
Système de levage pour FOUPs
Positionnement sans à-coups des FOUPs
L'association d'un module linéaire EGC à un servomoteur EMMS-AS permet un positionnement précis et doux du FOUP sans endommager les wafers.
Sur demande : système de levage pour grosses charges avec équilibrage pneumatique compatible avec une utilisation en salle blanche.
Diagnostic avancé pour la fiabilité des processus
Planarisation mécano-chimique (CMP)
Lors du polissage des wafers, le terminal de distributeurs CPX/MPA avec ses fonctions de diagnostic et de surveillance de l'état assure une plus grande fiabilité du processus et une plus grande disponibilité du système.
Traitement d'air adapté pour les systèmes de refroidissement
Solutions prêtes-à-installer
Pour le procédé de gravure PVD, un terminal de distributeurs pilote des vannes à siège incliné en fonction du débit mesuré par les capteurs de débit afin de garantir le bon refroidissement de l'installation.
Sur demande : tuyauterie en acier inoxydable ou en PVC.