La technique d'automatisation dans l'industrie des semiconducteurs

Examination Microchop

En moins de 18 mois, le système que vous concevez devra fabriquer des puces deux fois plus complexes que celles d'aujourd'hui, et qui seront vendues au même prix. Pour y arriver, il vous faut une solution automatisée aussi fiable qu'économique. Nous sommes tout à fait conscients des enjeux que représente la disponibilité totale des systèmes pour les fabricants de semiconducteurs et de composants électroniques. De quels produits et services avez-vous besoin ? Nous sommes là pour vous - dans le monde entier.

Votre défi : une régulation fiable du réfrigérant dans la fabrication de semiconducteurs

Application : contrôle et réglage de circuits de refroidissement avec les solutions de Festo

La solution de Festo :

• terminaux de distributeurs VTUG et VTOC (1) pour le contrôle fiable de vannes pour fluides pneumatiques

• terminal de distributeurs de type CPX-MPA si des E/S supplémentaires sont nécessaires, par exemple pour le contrôle de distributeurs électriques, l'intégration de capteurs ou la création de circuits de commande en boucle fermée. Il est aussi possible d'intégrer des fonctions de diagnostic et de télémaintenance.

• Des distributeurs à actionnement pneumatique ou électrique de type VZXA, VZQA et VZWF (3) contrôlent l'écoulement du fluide. Les fluides très froids et/ou chauds sont réglés avec beaucoup de précision et de fiabilité, même dans les circuits de régulation.

• Un vérin oscillant DFPD (4) actionne les robinets à boisseau sphérique VZBF (5) et les distributeurs à clapet couramment utilisés dans les lignes principales ou les lignes d'alimentation/d'évacuation pour le refroidissement ou le contrôle de température du fluide, à cause de leur débit élevé.

• Les capteurs de type SFAW (2) et SPAW (6) mesurent le débit, la température et la pression du fluide avec beaucoup de précision.

Produits phares pour l'industrie des semiconducteurs

Festo propose une large gamme de produits pour les machines de production de composants électroniques : terminal de distributeurs VTOC avec fonction de sécurité intégrée ou réducteurs de pression proportionnelle VEAA/VEAB pour le pilotage de vannes pour fluides couramment utilisées pour le contrôle et le réglage des gaz de process.

Terminal de distributeurs VTOC

Terminal de distributeurs VTOC

Le terminal de distributeurs pilotes compact pour une large variété d'applications pneumatiques. Avec une option de verrouillage pour une meilleure sécurité. Commande par multipôle ou bus de terrain. VTOC est également compatible avec IO-Link®.

Plus d'informations sur le VTOC

Soupape à tête inclinée VZXA

Soupape à tête inclinée VZXA

Des débits extrêmement élevés, une conception facile à nettoyer et une structure modulaire. Les corps de distributeur et les actionneurs se combinent librement pour plus de flexibilité dans l'application.

Plus d'informations sur la VZXA

Régulateur de pression proportionnelle VEAA

Régulateur de pression proportionnelle VEAA

Pour des plages de pression jusqu'à 10 bar : la technologie piézoélectrique rend le VEAA extrêmement précis et lui assure une durée de service très longue. Les autres avantages sont les durées de commutation extrêmement courtes, un fonctionnement silencieux et une consommation énergétique très basse.

Plus d'informations sur le VEAA

Autres produits pour l'industrie des semiconducteurs

Produits classés ISO pour salles blanches

Un homme en salle blanche

Tous les produits pour salle blanche de Festo sont dotés d'informations précises sur les classes de salle blanche selon ISO 14644-1 dans lesquelles ils peuvent être utilisés. Vous trouverez les principales informations correspondantes ici.

Information sur les salles blanches

Gagnez du temps et de l'argent avec les solutions prêtes à installer de Festo

Solutions prêtes à installer de Festo

Nos ingénieurs d'étude conçoivent des solutions prêtes à installer, spécialement configurées pour votre application. Vous obtenez ainsi des solutions système qui n'ont plus qu'à être installées dans vos machines.

Informations sur les solutions prêtes à installer

Une solution complète avec un espace parfaitement exploité

Des résines de coulée spécialement développées protègent les composants électroniques contre la saleté et l'humidité. Pour utiliser ce matériau efficacement, il faut des compétences particulièrement développées en ingénierie en raison des courbes complexes dans des endroits exigus. Sans oublier que les lots produits dans l'industrie électronique sont généralement très petits. Les machines doivent donc pouvoir être reconfigurées rapidement, simplement et à un coût abordable.

Le fournisseur leader mondial de ce type de systèmes de micro-distribution est la société bdtronis GmbH de Weikersheim, dans le Sud-Ouest de l'Allemagne. L'entreprise mise sur une flexibilité élevée et un usage optimal de l'espace, ainsi que sur une précision absolue et sur la sécurité de process. Elle a donc choisi une solution complète Festo pour son produit de mini-distribution basé sur le robot industriel compact YXMx.

Lire toute l'histoire à succès dans le magazine pour les clients