Production de wafers en front-end
Exemples d'applications

Sélection de produits :

Pour la production de wafers

Pour le the front-end 

 

Exemples d'applications :

Platine prête à l'emploi pour le pilotage de l'air comprimé

Platine pour le pilotage de l'air comprimé

Pilotage de l'effort de coupe lors du sciage des wafers

Platine intégrant l'unité de traitement d'air, un suspresseur et des vannes proportionnelles. Il ne reste plus qu'à installer la platine livrée avec sa documentation détaillée. 

Pilotage sûr des vannes de gaz

Vannes de gaz

Gravure chimique (CVD), lithographie, gravure et dopage

Dans ces étapes, la commutation fiable des vannes de gaz est essentielle pour garantir la qualité du produit fini et la sécurité de l'installation.

 

Le terminal de distributeurs VTOC dispose de 2 canaux pour le pilotage des vannes de gaz : par bus de terrain (EtherCAT) et par entrées TOR. Cette redondance garantit une commutation en toute sécurité

Système de levage pour FOUPs

Système de levage

Positionnement sans à-coups des FOUPs

L'association d'un module linéaire EGC à un servomoteur EMMS-AS permet un positionnement précis et doux du FOUP sans endommager les wafers.

 

Sur demande : système de levage pour grosses charges avec équilibrage pneumatique compatible avec une utilisation en salle blanche.

Diagnostic avancé pour la fiabilité des processus

Fiabilité des processus

Planarisation mécano-chimique (CMP)

Lors du polissage des wafers, le terminal de distributeurs CPX/MPA avec ses fonctions de diagnostic et de surveillance de l'état assure une plus grande fiabilité du processus et une plus grande disponibilité du système.

Traitement d'air adapté pour les systèmes de refroidissement

Système de refroidissement

Solutions prêtes-à-installer

Pour le procédé de gravure PVD, un terminal de distributeurs pilote des vannes à siège incliné en fonction du débit mesuré par les capteurs de débit afin de garantir le bon refroidissement de l'installation.

 

Sur demande : tuyauterie en acier inoxydable ou en PVC.