Félvezető szelet gyártása, technológiai szint
Megoldások az alkalmazásokhoz

Választott termékek:

Félvezető gyártáshoz

A technológiai szint közelében 

 

Alkalmazási példák:

Installálásra kész szerelőlap

Wafer production: mounting plate

Korrekt feszítés a szeletelésnél

Proporcionális szelepekkel, levegő előkészítő egységekkel és egy nyomásfokozóval kiegészítve: a szerelőlapot egyszerű megrendelni, installálásra kész és teljesen dokumentált.

A Festo világméretű szerviz- és értékesítési hálózata biztonságot nyújt az Ön számára és garantálja rendszerének kifogástalan működőképességét.

Gáz szelepek biztonságos vezérlése

Gas box

CVD, litográfia, maratás, ion implantáció

Ezekben a folyamatokban lényeges a média szelepek biztonságos működése annak érdekében, hogy elkerüljék a helytelen működést.

A VTOC szelepsziget kétcsatornás szelep egységekkel rendelkezik és minden szokásos ipari busz rendszeren keresztül (Ethercat) működtethető, a biztonságos kapcsolás garantálása érdekében.

Lágymozgású emelő rendszerek

Lifting systems

A FOUP tokok rázkódásmentes pozícionálása

Az EGC lineáris hajtóműből és EMMS-AS szervomotorból álló hajtás rendszer pontosan pozícionál, úgy, hogy a törékeny szeletek nem károsodnak.

Igény esetén: feladathoz illesztett emelő megoldások pneumatikus ellensúlyozással nagyobb terhekhez vagy megoldások tiszta terekben történő alkalmazásra. 

Közeg elosztás a folyamat biztonsága érdekében

Media distribution

CMP eljárás – mechanikai-kémiai polírozás

A szelet felületének polírozása alatt a CPX/MPA szelepterminál diagnosztikai funkciója és állapot-felügyelete biztosítja a nagyobb folyamatbiztonságot és a rendszer megnövelt rendelkezésre állását.

Testre szabott hűtővíz elosztás

Cooling water distribution

Installálásra kész megoldások

Szelepszigetek, ferde ülékes szelepek és áramlás érzékelők: a PVD eljárásban testre szabott hűtővíz elosztó rendszerek biztosítják, hogy a gyártási folyamat zökkenőmentes legyen. 

Igény esetén: csővezetékek rozsdamentes acélból vagy PVC-ből