Produzione front-end di wafer:
Soluzioni per applicazioni

Selected products:

For wafer production

For the front-end sector 

 

Application examples:

Piastra di montaggio pronta per l'installazione

Produzione di wafer: piastra di montaggio

Tensione adeguata durante il taglio dei wafer

Completa di valvole proporzionali, di un'unità di manutenzione e di un moltiplicatore di pressione: la piastra di montaggio è facile da ordinare, pronta per essere installata e corredata da un'ampia documentazione.

 

La nostra rete mondiale di vendita e manutenzione garantisce la massima affidabilità e un'elevata disponibilità di sistema.

 

Controllo sicuro delle valvole gas

Modulo gas

CVD, litografia, etching, impiantazione ionica

In queste fasi di processo la commutazione sicura delle valvole per fluidi è fondamentale per prevenire un errato azionamento.

 

L'unità di valvole VTOC è dotata di un dispositivo di azionamento a 2 canali che utilizza tutti i sistemi bus convenzionali (Ethercat) per garantire una commutazione sicura.

Sistemi per il sollevamento delicato

Sistemi per il sollevamento

Posizionamento senza contraccolpi dei FOUP

Il gruppo motore abbinato composto da un attuatore lineare EGC e da un servomotore EMMS-AS assicura posizionamenti accurati, in modo da non danneggiare i fragili wafer.

 

Su richiesta: soluzioni di sollevamento personalizzate con contrappeso pneumatico per grandi carichi o soluzioni per la clean room.

 

Distribuzione affidabile del fluido per i processi

Distribuzione fluidi

Planarizzazione chimico-meccanica (CMP)

Durante la lucidatura della superficie dei wafer l'unità di valvole CPX/MPA garantisce migliori affidabilità di processo e disponibilità di sistema, grazie alla propria funzione diagnostica e di monitoraggio condizionale.

Distribuzione personalizzata dell'acqua di raffreddamento

Distribuzione dell'acqua di raffreddamento

Soluzioni pronte per l'installazione

Unità di valvole, valvole oblique e sensori di portata: durante il processo PVD sistemi personalizzati per l'acqua di raffreddamento assicurano un processo di produzione senza intoppi.

 

Su richiesta: tubazioni in acciaio inossidabile o PVC

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Team industriale Festo