薄膜ベースの太陽電池モジュール製造

コーティングプロセスにおけるガスバルブの安全な動作

バルブターミナルVTOC

バルブターミナルVTOC

  • パイロットバルブとして使用される特殊なバルブターミナル
  • 従来型のバスシステムを介した流体バルブの2チャネル制御により誤操作を防止
  • 最高のプロセス信頼性を実現する組込型光ファイバケーブルシステム

 

VTOCの製品情報

カタログ記載のバルブターミナルVTOC

空中に浮いているかのような、ワークの丁寧な非接触搬送

エアベアリングATBT

エアベアリングATBT

  • エアクッションプレート全体で均一な耐荷重性能によりプロセス信頼性を向上
  • 最小限の空気消費量で、ウエハと同等の厚みのエアクッションによる非接触搬送
  • 個別のコンポーネントまたはレールとして、長さのカスタマイズが可能

 

エアベアリングATBTの製品情報

高真空下でのガラスプレートの高速で安全な搬送

スライディングフォーク

スライディングフォーク伸縮ハンドリングシステム

  • 10 kgを超える重量でも安定性を確保
  • 高温に適している=クリーンルームロボットの低コスト代替手法 
  • 特殊なガラスサポートが、ガラスプレートに痕が残るのを防止します。 
  • 設置スペース=ワークサイズ 
  • 電気スピンドル駆動による、最長2,100 mmの滑らかで高精度な動き 

スライディングフォークの詳細

ウエハと太陽電池セルを高速かつ安全に搬送

H型ガントリEXCM

ベルヌーイグリッパOGGB付きH型ガントリ

高速H型ガントリEXCMは高速、高精度な上にコンパクトです。

傷つきやすいウエハを、低接触グリッピングのベルヌーイグリッパOGGBと連係して丁寧に搬送します。

 

このプロセスはきわめて安全性が高く、圧縮空気の消費量も経済的です。

 

H型ガントリの詳細

コミッショニングサービス(オプション)

カタログ記載のベルヌーイグリッパOGGB

 

スライディングフォークについての質問:

当社の光電変換工学チームの