Produkcja płytek krzemowych na etapie front-end:
Rozwiązania dla poszczególnych zastosowań

Wybrane produkty:

Do produkcji płytek

For the front-end sector (schemat logiczny elementu)  

 

Przykłady aplikacji:

Płyty montażowe gotowe do zainstalowania

Produkcja płytek krzemowych: płyta montażowa

Właściwe naprężenie przy cięciu płytek

Kompletne rozwiązanie z zaworami proporcjonalnymi, zespołami przygotowania powietrza i wzmacniaczem ciśnienia: płyta montażowa jest łatwa do zamówienia, gotowa do zainstalowania i posiada pełną dokumentację.

 

Nasze światowe usługi i sieć sprzedaży daje Ci pewność i gwarantuje wysoką dostępność systemu.

 

Bezpieczne sterowanie zaworami gazowymi

Obudowy zawierające gazy

CVD, litografia, trawienie, implantacja jonowa

W takich procesach konieczne jest bezpieczne przełączanie zaworów mediów aby zapobiec niewłaściwym przełączeniom.

 

Wyspa zaworowa VTOC dysponuje dwukanałowym uruchamianiem zaworu za pomocą konwencjonalnych systemów szyn (Ethercat) gwarantując bezpieczne przełączanie.

Systemy delikatnego podnoszenia

Systemy podnoszenia

Bezskokowe pozycjonowanie FOUP

Zharmonizowany pakiet napędów składający się z napędu liniowego EGC i silnika serwo EMMS-AS dokładnie pozycjonuje delikatne płytki krzemowe, zapobiegając ich uszkodzeniom.

 

Na zapytanie: dopasowane do indywidualnych potrzeb rozwiązania z pneumatycznym równoważeniem dla dużych obciążeń przy pracy w czystym pomieszczeniu

 

Dystrybucja mediów odpowiednia dla procesu

Dystrybucja mediów

proces CMP

Podczas polerowania powierzchni płytek, wyspa zaworowa CPX/MPA z funkcją diagnostyczną i monitorowaniem warunków pracy zapewnia najwyższą niezawodność procesu i zwiększa dostępność systemu.

Indywidualny system rozprowadzania wody chłodzącej

Rozprowadzanie wody chłodzącej

Rozwiązania gotowe do zainstalowania

Wyspy zaworowe, zawory z gniazdem kątowym i czujniki przepływu: w procesie PVD, indywidualne systemy wody chłodzącej zapewniają płynność procesu produkcji.

 

Na zapytanie: przewody rurowe ze stali nierdzewnej lub PCW

Twoje kontakty na świecie:

Kontakt na świecie

Zespół Festo w branży półprzewodnikowej