Produção de wafers e o setor de montagens finais:
Destaques em produtos e aplicações

Produtos selecionados:

Para a produção de wafers

Para o setor de montagens finais 

 

Exemplos de aplicação:

Placa de montagem pronta para ser instalada

Produção de wafers: placa de montagem

Tensão correta para o corte dos wafers

Completa: com válvulas proporcionais, unidades de tratamento de ar e um multiplicador de pressão, a placa de montagem é fácil de encomendar e instalar e já vem totalmente documentada. 

 

Presente no mundo todo, nossa rede de serviços e vendas dá a você a certeza e a garantia de grande disponibilidade do sistema. 

Caixa de gás

Caixa de gás

CVD, fotolitografia, separação química com ácidos, implantação de íons

Nestas etapas do processo, a comutação segura das válvulas para meios fluidos é essencial para evitar a comutação incorreta. 

 

Para garantir a comutação segura, o terminal de válvulas VTOC tem acionamento das válvulas em 2 canais por meio de todos os sistemas de bus convencionais (Ethercat) .

Sistemas de elevação suave

Sistemas de elevação

Posicionamento sem solavancos de FOUPs

O pacote harmonizado de acionamento, composto de um eixo eletromecânico EGC e de um servomotor EMMS-AS, posiciona com precisão os frágeis wafers, de forma a não serem danificados. 

 

Sob consulta: soluções de elevação customizadas com compensação pneumática para grandes cargas ou soluções para sala limpa 

Distribuição confiável dos meios de processo

Distribuição dos meios

Processo CMP

Durante o polimento das superfícies do wafer, o terminal de válvulas CPX/MPA com monitoramento de condições e função de diagnóstico garante processos mais confiáveis e melhor disponibilidade dos sistemas.

Distribuição customizada de água de refrigeração

Distribuição de água de refrigeração

Soluções prontas para serem instaladas

Terminais de válvulas, válvulas de assento inclinado e sensores de fluxo: no processo de deposição física de vapor (PVD), sistemas de água de refrigeração customizados garantem o funcionamento correto do processo de manufatura. 

 

Sob consulta: tubulação de aço inoxidável ou PVC