Transporte rápido e segura de wafers e células fotoelétricas
Pórtico cartesiano com o conjunto modular para vácuo OGGB
O pórtico em H de alta velocidade EXCM é rápido, preciso e compacto.
Em combinação com o conjunto modular para vácuo OGGB para fixação de baixo contato, os frágeis wafers são transportados cuidadosamente.
O consumo de ar comprimido deste processo é extremamente seguro e econômico.
Mais sobre o pórtico cartesiano
Movimentos suaves até a posição final: proteção não apenas para os frágeis wafers
Cilindro normalizado DSBC
O DSBC com o amortecimento pneumático autoajustável nas posições finais de curso PPS adapta-se perfeitamente às mudanças de carga e velocidade.
- O amortecimento correto reduz o desgaste.
- O autoajuste economiza tempo.
Placas de montagem completas para o painel de comando durante o corte dos wafers: montadas, com tubos e conexões, testada e documentada
Soluções prontas para serem instaladas
Feita sob medida para sua aplicação.
Assim você economiza tempo e esforços de instalação.
- Sistemas de manipulação
- Painéis de comando
- Placas de montagem
- Módulos de produtos
Para a manipulação rápida e precisa de wafers
Manipulação de alta velocidade com o sistema de cinemática paralela EXPT
- Mais rápido que os sistemas de manipulação cartesianos tradicionais
- Ocupa pouco espaço
- Extremamente dinâmico com 150 separações/min
