Produção de módulos solares baseada em filme fino

Acionamento seguro de válvulas para gás nos processos de revestimento

Terminal de válvulas VTOC

Terminal de válvulas VTOC

  • Terminal de válvulas especial para uso como uma válvula de comando
  • Válvulas para meios fluidos com controle em 2 canais via todos sistemas de bus convencionais evita malfuncionamento
  • Sistema integrado de cabos de fibra óptica para máxima confiabilidade nos processos

 

Informações sobre VTOC

Terminal de válvulas VTOC no catálogo

Como flutuar no ar: transporte cuidadoso e sem contato das peças de trabalho

Mesa de colchão de ar ATBT

Mesa de colchão de ar ATBT

  • Capacidade de carga uniforme ao longo de toda a mesa de colchão de ar para processos mais confiáveis
  • Transporte sem contato sobre colchões de ar de finos wafers com mínimo consumo de ar comprimido
  • Componentes individuais ou como um trilho, disponível em comprimentos customizados

 

Informações sobre a mesa de colchão de ar ATBT

Transporte rápido e seguro de placas de vidro em alto vácuo

Garfo deslizante

Garfo deslizante com sistema de manipulação telescópica

  • Estável mesmo com pesos superiores a 10 kg
  • Próprio para altas temperaturas = alternativa de baixo custo para robôs em sala limpa 
  • Vidro especial evita marcas nas placas de vidro. 
  • Espaço de instalação = tamanho da peça 
  • Movimentos precisos e sem solavancos de até 2.100 mm com fuso de esferas elétrico 

Mais sobre o garfo deslizante

Transporte rápido e segura de wafers e células fotoelétricas

Pórtico cartesiano EXCM

Pórtico cartesiano com o conjunto modular para vácuo OGGB

O pórtico em H de alta velocidade EXCM é rápido, preciso e compacto.

Em combinação com o conjunto modular para vácuo OGGB para fixação de baixo contato, os frágeis wafers são transportados cuidadosamente.

 

O consumo de ar comprimido deste processo é extremamente seguro e econômico.

 

Mais sobre o pórtico cartesiano

Opção com serviços de comissionamento

Conjunto modular para vácuo OGGB no catálogo

 

Perguntas sobre o garfo deslizante:

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