Acionamento seguro de válvulas para gás nos processos de revestimento
Terminal de válvulas VTOC
- Terminal de válvulas especial para uso como uma válvula de comando
- Válvulas para meios fluidos com controle em 2 canais via todos sistemas de bus convencionais evita malfuncionamento
- Sistema integrado de cabos de fibra óptica para máxima confiabilidade nos processos
Como flutuar no ar: transporte cuidadoso e sem contato das peças de trabalho
Mesa de colchão de ar ATBT
- Capacidade de carga uniforme ao longo de toda a mesa de colchão de ar para processos mais confiáveis
- Transporte sem contato sobre colchões de ar de finos wafers com mínimo consumo de ar comprimido
- Componentes individuais ou como um trilho, disponível em comprimentos customizados
Transporte rápido e seguro de placas de vidro em alto vácuo
Garfo deslizante com sistema de manipulação telescópica
- Estável mesmo com pesos superiores a 10 kg
- Próprio para altas temperaturas = alternativa de baixo custo para robôs em sala limpa
- Vidro especial evita marcas nas placas de vidro.
- Espaço de instalação = tamanho da peça
- Movimentos precisos e sem solavancos de até 2.100 mm com fuso de esferas elétrico
Transporte rápido e segura de wafers e células fotoelétricas
Pórtico cartesiano com o conjunto modular para vácuo OGGB
O pórtico em H de alta velocidade EXCM é rápido, preciso e compacto.
Em combinação com o conjunto modular para vácuo OGGB para fixação de baixo contato, os frágeis wafers são transportados cuidadosamente.
O consumo de ar comprimido deste processo é extremamente seguro e econômico.
Mais sobre o pórtico cartesiano
