Автоматизация в полупроводниковой промышленности

Examination Microchop

Всего через 18 месяцев система, которую вы создаете сегодня, будет производить чипы, которые будут в два раза сложнее, чем те, которые вы производите сейчас – и они будут продаваться по той же цене. Это можно сделать только с помощью надежных и экономичных решений по автоматизации. Мы хорошо понимаем, насколько важна полная эксплуатационная готовность системы для производителей полупроводников и электронных компонентов. Какие товары и услуги вам необходимы? Они предоставляются по всему миру, где бы вы ни находились.

Ваша задача: надежное регулирование охлаждающей жидкости при производстве полупроводников

Применение: управление и регулирование контуров охлаждения с использованием решений Festo

Решение от Festo:

• Пневмоострова VTUG и VTOC (1) для надежного контроля пневматическими клапанами, работающими с разными средами

• Пневмоостров типа CPX-MPA применяется в случаях, когда требуются дополнительные входы/выходы, например, для управления электрическими клапанами, встраивания датчиков или создания замкнутых цепей управления. Также могут быть реализованы функции диагностики и дистанционного обслуживания.

• Клапаны с пневматическим или электрическим приводом типа VZXA, VZQA и VZWF (3) управляют расходом технологической среды. Чрезвычайно холодные и/или горячие среды надежно и точно регулируются даже в замкнутых контурах управления.

• Четвертьоборотный привод DFPD (4) управляет шаровыми клапанами VZBF (5) и заслонками, которые, благодаря высокой производительности, обычно используются в магистральных линиях и линиях загрузки/выгрузки охлаждающих сред или сред, регулирующих температуру.

• Датчики типа SFAW (2) и SPAW (6) очень точно измеряют расход, а также температуру и давление технологической среды.

Основные продукты для полупроводниковой промышленности

Компания Festo предлагает широкий ассортимент продукции для станков по производству электронных компонентов: пневмоострова VTOC со встроенной функцией безопасности, пропорциональные регуляторы давления VEAA/VEAB для управления клапанами технологической среды, поскольку они обычно используются для контроля и регулирования технологических газов.

Пневмоостров VTOC

Пневмоостров VTOC

Компактный вспомогательный пневмоостров, применяемый для управления разнообразными пневматическими системами С опцией блокировки для повышенной безопасности. Управление через многоконтактную или полевую шину. Пневмоостров VTOC совместим с IO-Link®.

Подробнее о пневмоострове VTOC

Клапан с наклонным шпинделем VZXA

Клапан с наклонным шпинделем VZXA

Чрезвычайно высокий расход, простая в уходе и модульная конструкция. Корпуса клапанов и приводы можно свободно комбинировать, чтобы обеспечить адаптацию к каждой области применения.

Подробнее о клапане VZXA

Пропорциональный регулятор давления VEAA

Пропорциональный регулятор давления VEAA

Для давления до 10 бар: пьезо-технология обеспечивает невероятную точность работы и длительный срок службы регулятора VEAA. Дополнительные преимущества: быстрое переключение, тихая работа и очень низкое энергопотребление.

Подробнее о регуляторе VEAA

Другие продукты для полупроводниковой промышленности

Продукты для чистых помещений по классификации ISO

Человек в чистой комнате

Для каждого продукта Festo, предназначенного для чистых помещений, четко указывается класс чистых помещений (ISO 14644-1), в которых этот продукт может использоваться. Наиболее важную информацию по этой теме можно найти здесь.

Информация о чистых помещениях

Сократите расходы и сэкономьте время с готовыми к установке решениями от Festo

Готовые к установке решения от Festo

Наши инженеры-проектировщики разрабатывают готовые к установке решения, индивидуально настроенные для вашей промышленной системы. Полученные системные решения могут быть незамедлительно установлены на вашем машинном оборудовании.

Информация о готовых к установке решениях

Комплексное решение с оптимальным использованием пространства

Специально разработанные сорта литьевой смолы защищают электронные компоненты от грязи и влаги. Для эффективного применения этого материала требуется инженерно-техническое мастерство, чтобы строить криволинейные траектории в узких, ограниченных пространствах. Кроме того, производственные партии в электронной промышленности обычно очень малы. Это означает, что должна существовать возможность быстрой, простой и экономичной переналадки машинного оборудования.

Компания Bdtronic GmbH, базирующаяся в Вайкерсхайме на юго-западе Германии, является ведущим мировым поставщиком таких микрораспределительных систем. Оценивая высокую приспосабливаемость устройств и оптимальное использование пространства, а также абсолютную точность и надежность процессов, эта компания заказала комплексное решение от Festo для своей микрораспределительной продукции, и основу решения составил компактный промышленный робот YXMx.

Прочитайте всю историю успеха в нашем журнале для клиентов