Výroba kremíkových platničiek na vstupnej časti procesu:
Riešenia pre aplikácie

Selected products:

For wafer production

For the front-end sector 

 

Application examples:

Montážna doska pripravená pre montáž

Výroba kremíkových platničiek: montážna doska

Správne napätie pri rezaní platničky

Komplet s proporcionálnymi ventilmi, jednotkami pre úpravu vzduchu a tlakovým zosilňovačom: montážna doska s jednoduchým objednávaním, pripravená pre inštaláciu s úplnou dokumentáciou.

 

Naša celosvetová servisná a odbytová sieť vám poskytuje istotu a zaručuje vysokú mieru spoľahlivosti systému.

 

Bezpečné riadenie plynových ventilov

Skriňa rozvodu plynu

CVD, litografia, leptanie, iónová implementácia

V týchto krokoch procesu je dôležité bezpečné spínanie ventilov média s cieľom predísť nesprávnemu spínaniu.

 

Ventilový terminál VTOC má 2-kanálový pohon ventilu cez konvenčné zbernicové systémy (Ethercat), ktorý zaručuje bezpečné spínanie.

Jemné zdvíhacie systémy

Zdvíhacie systémy

Polohovanie kontajnerov FOUP bez otrasov

Balík zladeného pohonu zložený z lineárneho pohonu EGC a servomotora EMMS-AS presne polohuje krehké platničky bez poškodenia.

 

Na požiadanie upravené zdvíhacie riešenia s pneumatickým vyvažovaním pre veľké náklady a riešenia pre čisté priestory

 

Distribúcia média s vysokou procesnou bezpečnosťou

Distribúcia média

Proces CMP

V priebehu leštenia kremíkových platničiek zaručuje ventilový terminál CPX/MPA s diagnostickou funkciou a monitorovaním stavu vyššiu bezpečnosť procesu a disponibilitu systému.

Upravená distribúcia chladiacej vody

Distribúcia chladiacej vody

Riešenia pripravené pre montáž

Ventilové terminály, ventily so šikmým vretenom a prietokové snímače: v procese PVD, zabezpečujú upravené systémy chladiacej vody hladký chod výrobného procesu.

 

Na požiadanie potrubný systém z nerezu alebo PVC

Your worldwide contacts:

Worldwide contacts

Festo industry team