Wafer üretimi ve front-end sektörü:
Öne çıkan ürünler ve uygulamalar

Seçilen ürünler:

Wafer üretimi için

Front-end sektörü için 

 

Uygulama örnekleri:

Kurulmaya hazır montaj plakası

Wafer üretimi: Montaj plakası

Wafer'leri kesme sırasında doğru gerginlik

Oransal valfler, şartlandırıcı birimi ve basınç yükselticiyle birlikte komple montaj plakası kolayca sipariş verilebilir, kuruluma hazırdır ve tüm dokümanları mevcuttur.

 

Dünya çapındaki servis ve satış ağımız endişeye yer bırakmaz ve yüksek sistem kullanılabilirliği güvencesi verir.

 

Gaz valflerinde güvenli kontrol

Gaz kutusu

CVD, litografi, asitle aşındırma, iyon implantasyon

Bu proses adımlarında, akışkan valflerinde güvenli anahtarlama, hataların önlenmesi için son derece önemlidir.

 

Valf adası VTOC, güvenli anahtarlama sağlamak için tüm yaygın bus sistemleri (Ethercat) aracılığıyla 2 kanallı valf uyarımına sahiptir.

Hassas kaldırma sistemleri

Kaldırma sistemleri

FOUP'ları sarsıntısız konumlama

Doğrusal tahrik EGC ve servo motor EMMS-AS'den oluşan uyumlaştırılmış tahrik paketi hassas wafer'ları yüksek doğrulukla konumlandırarak hasar görmelerini önler.

 

Talep üzerine: Ağır yükler için pnömatik karşı denge özellikli uyarlanmış kaldırma çözümleri veya temiz oda için çözümler

 

Süreç güvenliği sağlayan akışkan dağıtımı

Akışkan dağıtımı

CMP prosesi

Wafer yüzeylerinin cilalanması sırasında, tanılama ve durum izleme fonksiyonlu valf adası CPX/MPA daha fazla süreç güvenliği ve sistem kullanılabilirliği sunar.

Müşteriye özgü soğutma suyu dağıtımı

Soğutma suyu dağıtımı

Kurulmaya hazır çözümler

Valf adaları, açılı pistonlu valfler ve debi sensörleri: PVD prosesinde, müşteriye özgü soğutma suyu sistemleri üretim sürecinin sorunsuz yürümesini sağlar.

 

Talep üzerine: Paslanmaz çelik veya PVC borular

Dünya çapında Festo irtibatlarınız:

Dünya çapında irtibatları

Festo endüstri ekibi