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滑动叉:无限可变的伸缩式抓取系统,用于传输基板

滑动叉

 

创新型抓取解决方案,用于基板和模块的装卸。伸缩原理、三倍的传动比、行程可达 2,100 mm。

  • 安装空间 = 工件规格
  • 两端都可前进,中间挡块无限可变
  • 非常适合工艺舱中的条件
Festo 滑动叉,用于真空条件下的涂层过程

用于真空条件下的涂层过程

滑动叉将基板插入工艺舱进行涂层。

  • 真空条件下的涂层过程温度可达 200°C
  • 与特殊的洁净室机器人相比,性价比更高
Festo sliding fork for loading and unloading operations: low-cost and compact alternative to robot solutions

用于大气环境压力下的装卸操作

在生产过程中,过程模块的装卸需要频繁地对基板进行重新定位。在这种应用场合中,滑动叉不仅在成本上比机器人方案更经济,而且在安装空间上也更胜一筹。

  • 安装空间 = 工件尺寸
  • 与机器人方案相比,最多可节省 50% 的成本
  • 行程非常长:最长可达 2m

“滑动叉”:无极伸缩式抓取单元

在高度真空的条件下实现可靠、快速的传输