薄膜基材太阳能模块生产

在涂层过程中安全驱动气体阀

阀岛 VTOC

阀岛 VTOC

  • 特殊的阀岛,可用作先导阀
  • 通过所有常规的总线系统实现介质阀的双通道控制,避免不良操作
  • 嵌入式光纤电缆系统,实现最大的过程可靠性

 

VTOC 的产品信息

阀岛 VTOC 的产品目录

像漂浮在空气上一样:非接触式轻柔传输工件

空气轴承 ATBT

空气轴承 ATBT

  • 整个空气缓冲板的承载能力相同,增加了过程可靠性
  • 使用最少的耗气量在极薄的空气缓冲上实现非接触式传输
  • 单个元件或作为导轨,长度可定制

 

空气轴承 ATBT 的产品信息

在高度真空的环境中快速、安全地传输玻璃基板

滑动叉

滑动叉:可伸缩的抓取系统

  • 负载超过 10 kg 时仍能保持稳定
  • 适用于高温 = 洁净室机器人的低成本替代产品
  • 特殊的玻璃支撑防止在玻璃基板上留下痕迹。
  • 安装空间 = 工件规格
  • 电动丝杆驱动:运动精确、无抖动,行程可达 2,100 mm

滑动叉的相关信息

快速、安全地传输晶圆和太阳能电池

H 型门架 EXCM

H 型门架,带伯努利吸盘 OGGB

H 型高速门架速度快、精度高且结构紧凑。

与伯努利吸盘 OGGB 组合使用,实现对易碎晶圆的非接触式轻柔传输。

 

该过程非常安全且耗气量少。

 

H 型门架的相关信息

可选调试服务

伯努利吸盘 OGGB 的产品目录

 

滑动叉的相关问题:

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