半导体行业中的自动化

Examination Microchop

在短短的18个月内,您现在制造的系统将要制造出复杂程度是您目前制造的芯片两倍的芯片 – 但是售价保持相同。这只有采用可靠而经济的自动化解决方案才能实现。我们都深知,系统整体利用率对于半导体和电子元件制造商有多重要。您需要哪些产品和服务?我们在全球各地为您提供。      

您的挑战:可靠调节半导体制造过程中的冷却剂

应用场合:用Festo解决方案控制和调节冷却管路

Festo解决方案:

• 阀岛 VTUG 和 VTOC (1) 用于可靠控制气控介质阀

• 例如,对于阀岛 CPX-MPA,若需要额外的 I/O 来控制电控阀、集成传感器或建立闭环控制回路。还可实现诊断和远程维护功能。

•气控或电控阀 VZXA, VZQA 和 VZWF (3) 控制介质流。即使在闭环控制回路中也能可靠精确调节很冷和/或很热的介质。

• 角行程气缸 DFPD (4) 驱动球阀 VZBF (5) 和翻板阀(用于主管线或用于进给/排放管线或温度控制介质,流量大)。     

• 传感器 SFAW (2) 和 SPAW (6) 精确测量流量及介质温度和压力。      

用于半导体行业的重点产品

Festo有着庞大的产品组合和产品线,用于电子元件生产机器:带集成安全功能的阀岛VTOC或我们的用于先导介质阀的比例压力阀VEAA/VEAB,因为这些产品通常用于控制和调节工艺气体。     

Valve terminal VTOC

阀岛 VTOC

紧凑的先导阀岛,在气动应用中有广泛应用。可选互锁功能,提高安全性。通过多针或现场总线控制。VTOC 还适用于 IO-Link®。     

详细了解 VTOC

Angle seat valve VZXA

角座阀 VZXA

流量大,易清洗,模块化结构。阀体和驱动可自由组合,在应用中灵活性更大。     

详细了解 VZXA

Proportional pressure regulator VEAA

比例压力阀 VEAA

最高压力可达10 bar: 压电技术赋予了VEAA极高的精度和非常长的使用寿命。其它优势包括非常短的开关时间、工作安静和非常低的功耗。     

详细了解 VEAA

用于半导体行业的其它产品

ISO 分类产品,用于洁净室

A man in the cleanroom

Festo的每个洁净室产品都有精确的信息,告知能用于ISO 14644-1规定的哪一个洁净室等级。这里可以获取这方面最重要的信息。     

洁净室信息

通过Festo即可安装的解决方案降低成本,节省时间

Ready-to-install solutions from Festo

我们项目工程师按您应用的个性化配置来设计即可安装解决方案。您收到的系统解决方案可直接安装在机器上。

即可安装解决方案信息

优化利用空间的完整解决方案

为电子元件防尘和防潮专门开发的铸塑树脂。这种材料的涂抹需要深度开发的工程技能,因为这会涉及到紧凑空间汇总的复杂曲线路径。不仅如此,电子行业中的生产批量还通常很小。这意味着,机器必须能快速、方便和经济地进行重新配置。      

德国西南Weikersheim市的bdtronic GmbHhi各类微型涂胶机的领先厂商。因为这家公司十分重视优异的灵活性、空间的优化利用以及绝对精度和过程可靠性,所以它选择了Festo的完整解决方案,用在自己的迷你型涂胶机中,其核心就是紧凑的工业机器人YXMx。

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