晶圓生產和前段部分:
重點產品和解決方案

所選產品:

用於晶圓生產

用於前端部分 

 

應用實例:

即可安裝的安裝板

晶圆生产:安装板

切割晶圓時保證合適的張力

完整集成比例閥、氣源處理裝置和增壓器:該安裝板訂購方便、即可安裝且有完整文獻。

 

我們全球的銷售和服務網絡保證系統有效性高,讓您放心。

 

安全控制氣體閥

气箱

CVD、平版印刷、蝕刻、離子注入

在這些工序中,安全開關介質閥是至關重要的。

 

閥島 VTOC 通過所有普通總線系統(Ethercat)實現 2 通道閥驅動,保證安全開關。

輕柔的提升系統

提升系统

無振動地定位 FOUP

由直線電缸 EGC 和伺服電機 EMMS-AS 組成的相互匹配的驅動包可以實現精確定位,避免損害易碎的晶圓。

 

根據要求可提供:用於大型負載、帶配重氣缸的定制的提升解決方案或用於潔淨室的解決方案。 

過程可靠的介質分配

介质分配

CMP 技術

拋光晶圓表面的過程中,集成診斷和狀態監控功能的閥島 CPX/MPA 保證較高的過程可靠性和系統有效性。

定制的冷卻水分配方案

冷却水分配

即可安裝的解決方案

閥島、角座閥和流量傳感器:在 PVD ​​過程中,定制的冷卻水系統保證製造過程平穩運行。

 

根據要求可提供:不銹鋼或 PVC 材料的硬管。

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