薄膜基材太陽能模組生產

在塗層過程中安全驅動氣體閥

阀岛 VTOC

閥島 VTOC

  • 特殊的閥島,可用作先導閥
  • 通過所有常規的總線系統實現介質閥的雙通道控制,避免不良操作
  • 嵌入式光纖電纜系統,實現最大的過程可靠性

VTOC 的產品信息

閥島 VTOC 的產品目錄

像漂浮在空氣上一樣:非接觸式輕柔傳輸工件

空气轴承 ATBT

空氣軸承 ATBT

  • 整個空氣緩衝板的承載能力相同,增加了過程可靠性
  • 使用最少的耗氣量在極薄的空氣緩衝上實現非接觸式傳輸
  • 單個元件​​或作為導軌,長度可定制

空氣軸承 ATBT 的產品信息

在高度真空的環境中快速、安全地傳輸玻璃基板

滑动叉

滑動叉:可伸縮的抓取系統

  • 負載超過 10 kg 時仍能保持穩定
  • 適用於高溫 = 潔淨室機器人的低成本替代產品
  • 特殊的玻璃支撐防止在玻璃基板上留下痕跡
  • 安裝空間 = 工件規格
  • 電動螺桿驅動:運動精確、無抖動,行程可達 2,100 mm

滑動叉的相關信息

快速、安全地傳輸晶圓和太陽能電池

H 型门架 EXCM

H 型門架,帶伯努利吸盤 OGGB

H 型高速門架速度快、精度高且結構緊湊。

與伯努利吸盤 OGGB 組合使用,實現對易碎晶圓的非接觸式輕柔傳輸。

該過程非常安全且耗氣量少。

H 型門架的相關信息

可選調試服務

伯努利吸盤 OGGB 的產品目錄

 

滑動叉的相關問題:

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