Clony jsou nejjednodušší formou regulace průtoku dusíku. Jedná se o mechanické zúžení (pevné díry) v hadicovém systému, kterými proudí definované množství dusíku při konstantním tlaku. Výhoda: velmi příznivé celkové náklady, často nižší než 90 € – včetně montáže i jednoduchého spínacího ventilu a samotné záslepky. Díky tomu jsou ideální pro jednoduché aplikace regulace průtoku dusíku se stabilními podmínkami.
Často používanými výrobky jsou v této souvislosti ventily MH1. Cenově výhodné standardní ventily nabízí v kombinaci s clonou funkční analogové řešení pro regulaci průtoku plynu v průmyslu. V mnoha aplikacích je tato kombinace dostačující – zejména pokud působí silný investiční tlak nebo není vyžadována digitální zpětná vazba.
Existují však jasná omezení:
Je třeba také poznamenat: chcete-li naměřené hodnoty zaznamenávat i později, potřebujete další hardware (např. samostatné snímače tlaku nebo čidla průtoku a potřebný vstup do řídicí jednotky), což zvyšuje náklady a složitost systému. Navzdory velmi dlouhé životnosti a spolehlivosti ventilu nejsou jednoduché spínací ventily, jako je MH1, vzhledem ke své konstrukci ideální pro procesy kritické z hlediska čistoty, protože v porovnání se specializovanými regulátory hmotnostního průtoku lze očekávat vyšší emise částic.
Přesto tento princip využívá mnoho výrobních linek – zejména v případech, kdy stačí udržovat pouze jednoduché objemové průtoky a vhodné filtry zpětně zachytávají částice. Jakmile se však jedná o dynamické změny, spolehlivé sledování nebo zpětnou procesu, toto řešení rychle narazí na své hranice.
Regulátory hmotnostního průtoku, jako jsou VEFC, VEMD nebo VEAD, nabízejí metody řízení průtoku dusíku, kterých ani pevnými clonami ani nastavitelnými škrticími ventily nelze docílit:
Zařízení sama o sobě nejsou „inteligentní“ ve smyslu autonomní detekce anomálií – jsou však AI ready. Ve spojení se sledováním filtru, čidly tlaku a algoritmy lze například rozpoznat stupeň znečištění filtru a včas zasáhnout údržbou bez přerušení výroby.
Než se rozhodnete pro konkrétní ventil, měli byste se důkladně seznámit s technickými požadavky a prostředím aplikace. Každý ventil má své silné stránky – ať už jde o průtok, velikost nebo možnosti připojení.
Zatímco jednoduché systémy se zdají být výrazně výhodnější, spolehlivé regulační ventily se sledovací funkcí přinesou rozhodující výhody:
Příklad: v zařízení s 50 regulačními ventily může jednoduchý displej na každém z nich pomoci rychle identifikovat vadná místa – i bez digitálního odečtu.
Moderní regulátory hmotnostního průtoku poskytují cenná data – průtok, tlak, teplotu – která lze integrovat do nadřazených systémů, jako je například Festo AX. Vznikají nové možnosti, jako:
Tato zařízení nejsou sama o sobě „inteligentní“, ale jsou připravena pro AI – a tvoří základ pro výrobní procesy s podporou dat v budoucnosti.
Výběr správného ventilu závisí na mnoha faktorech:
V budoucnu budeme využívat interaktivní nástroj pro individuální doporučení, který Vám po odpovědí na konkrétní otázky navrhne nejlepší řešení – od jednoduchých clon až po VEFC s umělou inteligencí.
Regulace dusíku ve výrobě polovodičů je mnohem více než jen technická záležitost – ovlivňuje kvalitu, stabilitu procesu a náklady. Rozhodující je, zda potřebujete jednoduché řešení nebo nejmodernější řídicí technologii. Správnou volbou zajistíte nejen provozní spolehlivost, ale také efektivitu a udržitelnost do budoucna.