Přesná regulace inertních plynů: výhodná alternativa
Hmotnostní regulátor průtoku VEFC je ideální zejména pro polovodičový průmysl, ale vlastně všude tam, kde je třeba přesně regulovat inertní plyny. Velmi kompaktní VEFC rozšiřuje portfolio výrobků Controlled Pneumatics. Zároveň má všechny výhody piezoelektrických ventilů: maximální dynamiku, plynulou a přesnou regulaci, velmi nízkou spotřebu energie a zahřívání, stabilní průtok bez nutnosti ručního seřízování – a velmi dobrý poměr ceny a výkonu.
Úsporné, bezpečné a přesné profukvání N2
S VEFC lze v jednotlivých krocích proukování regulovat nejrůznější hodnoty průtoku. Během úvodního profouknutí, procesního profuku a závěrečného profouknutí zajišťuje VEFC využití pouze nezbytně nutného množství dusíku. Šetří se dusík a zkracuje se doba procesu, než se dosáhne suché atmosféry ochranného plynu.
