Inspección de microchips

Automatización en la industria de semiconductores

Las instalaciones que hoy construye tienen que producir en 18 meses chips el doble de complejos, sin que haya cambios en los costes. Esto solo se consigue con soluciones automatizadas que funcionan de forma fiable y económica. Sabemos lo importante que es la absoluta disponibilidad del sistema para los fabricantes de semiconductores y componentes electrónicos. ¿Qué productos y servicios necesita? Estamos a su disposición en todo el mundo.

Aplicación: control y regulación de circuitos de refrigeración

Su desafío: regular con fiabilidad el refrigerante en la fabricación de semiconductores

La solución de Festo:

  • Terminales de válvulas VTUG y VTOC (1) para el control fiable de válvulas para fluidos neumáticas
  • Terminal de válvulas de tipo CPX-MPA, cuando se requieren I/O adicionales, p. ej., para regular válvulas eléctricas, integrar sensores o configurar circuitos de regulación cerrados. En este caso, también pueden realizarse funciones de diagnóstico y mantenimiento a distancia.
  • Válvulas del tipo VZXA, VZQA, VZWF (3) de accionamiento neumático o eléctrico controlan el flujo de fluidos. También en un circuito de regulación los fluidos muy fríos y/o calientes serán regulados con fiabilidad y precisión.
  • El actuador giratorio DFPD (4) acciona las válvulas de bola VZBF (5) y las válvulas de chapaleta que, debido al caudal elevado, se utilizan normalmente en la tubería principal o en el conducto de alimentación/evacuación del refrigerante/medio de atemperación.
  • Sensores del tipo SFAW (2) y SPAW (6) miden con exactitud los caudales y las temperaturas o la presión del medio.

Productos para la industria de los semiconductores

Festo tiene una amplia gama de productos para máquinas destinadas a la producción de componentes electrónicos: el terminal de válvulas VTOC con función de seguridad integrada o el regulador de presión proporcional VEAA/VEAB para el servopilotaje de las válvulas para fluidos, como normalmente se utilizan en el control, es decir, en la regulación de los gases de procesos.

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