L'automatisation dans les semi-conducteurs

Précision et performance pour maximiser la productivité

Perfectionnez votre production de semi-conducteurs grâce à des solutions d'automatisation idéales - pour des procédés stables, une précision maximale et un encombrement minimal. Partenaire de l'industrie des puces et des semi-conducteurs, nous connaissons vos défis. Nous vous accompagnons avec des composants standard innovants et des solutions sur mesure parfaitement adaptées à votre procédé et à votre installation. Nos solutions respectent les normes en vigueur dans le secteur, comme la génération de particules ou le dégazage.

Nos solutions d'automatisation facilement adaptables intègrent des technologies innovantes et à forte valeur ajoutée, du front-end au back-end et à l'Advanced Packaging - comme le collage hybride. Elles sont optimisées pour minimiser les impuretés, fonctionnent efficacement et pérennisent ainsi votre rendement. Grâce à leur conception, elles permettent généralement de réduire les coûts énergétiques et votre empreinte écologique.

Des solutions qui garantissent la stabilité et la reproductibilité durables de vos procédés

Nos solutions d'automatisation assurent un rendement constant, garantissant ainsi la rentabilité de la production de semi-conducteurs. La conception intelligente de nos composants les rend en outre particulièrement adaptables et évolutifs. Vous pouvez ainsi réagir à tout moment, facilement et rapidement à l'évolution des besoins de production.

Grâce à ces avantages, vous tirez pleinement parti de nos solutions d’automatisation :

  • Commande ultra-précise du mouvement, de la pression et du débit des fluides
  • Design épuré pour garantir la propreté requise et limiter les émissions de particules
  • Design peu encombrant pour les environnements d'installation limités
  • Consommation d'énergie minimisée et dégagement de chaleur réduit
  • Prêt pour l'AI/IoT
  • Disponibilité fiable dans le monde entier grâce à une fabrication et une livraison locales
  • Respect des exigences de CopyExactly!
  • Accompagnement personnalisé par des experts pour relever les défis de vos procédés
  • Graisses et joints d'étanchéité spécifiques aux semi-conducteurs pour empêcher les dégazages indésirables.

Produire avec une précision répétable et contrôler en temps réel grâce à l'IA

Misez sur nos solutions globales qui garantissent des procédés stables et reproductibles à long terme. Grâce à nos joints d'étanchéité et graisses pour semi-conducteurs, vous profitez en outre d'un dégazage réduit pour une exécution parfaite des procédés. Qu’il s’agisse du contrôle individuel de la température, du micro-positionnement ou du contrôle précis et cyclique des phases gazeuses lors du dépôt de couches atomiques (ALD), nous développons pour vous des solutions parfaitement adaptées.

Nous vous accompagnons par exemple dans les tâches suivantes :

  • Contrôle de la température pour le wafer-chuck, la chambre de procédé ou le générateur de plasma
  • Pin-Lift et micropositionnement avec reconnaissance de la force
  • Commande des distributeurs pour le dépôt de couches atomiques (ALD)
  • Sécurité de la purge et de la régénération des chambres à vide
  • Pilotage des distributeurs UHP pour une régulation fiable des gaz de procédé

Vos avantages en bref

Nous connaissons les défis complexes auxquels sont confrontés les fabricants de semi-conducteurs et nous leur proposons des solutions sur mesure. Bénéficiez vous aussi de notre vaste savoir-faire pratique et de notre réseau d'assistance international. Nos experts vous accompagnent à chaque étape afin d’optimiser vos installations et de réduire les arrêts de production.

Nous sommes votre partenaire de confiance pour l'automatisation :

  • Excellente fiabilité pour un fonctionnement sûr et cohérent à toutes les étapes du procédé
  • Réactivité dans les situations critiques avec analyse des causes à l'aide des techniques les plus modernes et minimisation des risques
  • Solutions technologiques ouvertes, associant des composants pneumatiques et électriques
  • Respect des normes CopyExactly! selon une directive mondiale spécifique
  • Soutien mondial de la chaîne d'approvisionnement pour un flux de production sans faille

FAQ

Quelles solutions assistent nos partenaires de l'industrie des semi-conducteurs ?

Nos solutions d'automatisation pour l'industrie des semi-conducteurs sont axées sur la précision, l'efficacité énergétique, l'encombrement et la flexibilité, du produit en catalogue à la solution spécifique qui s'intègre parfaitement dans votre installation selon vos besoins. Outre les normes habituelles du secteur, la rentabilité du système constitue une condition de base déterminante. Nos domaines clés comprennent la commande précise des circuits de refroidissement à l'aide de terminal de distributeurs et de capteurs, la réduction de la consommation d'azote grâce à une technologie piézoélectrique innovante et le transfert a efficace des wafers et des puces à l'aide de systèmes de transfert compacts et modulaires. De plus, Festo Automation Experience (Festo AX) permet, grâce à l'intelligence artificielle, une optimisation des procédés de production fondée sur les données afin d'améliorer la qualité et l'efficacité. Pour les applications spécifiques, nous proposons des solutions sur mesure, comme la commande de Pin Lifters et l’alimentation en gaz pour les procédés de polissage chimique. Nous aidons ainsi les fabricants de semi-conducteurs à réduire les coûts de production et à améliorer la disponibilité des installations et la qualité des produits.

À qui s'adresse notre offre ?

Avec nos solutions d’automatisation, nous nous adressons en particulier à l’ensemble de l’industrie des semi-conducteurs : aussi bien aux exploitants de fabs qu’aux sous-traitants d’équipements de production, ainsi qu’aux ingénieurs procédés, du front-end au back-end, jusqu’à l'Advanced Packaging. Les développeurs et les planificateurs d'installations complexes dans le domaine de l'électronique et des microsystèmes profitent également de nos solutions.

Où interviennent nos solutions dans vos installations/WFE ou vos outils et machines ?

Nos solutions d'automatisation sont conçues pour être utilisées dans les installations, les équipements de fabrication de wafers (WFE) et les outils de production de semi-conducteurs ainsi que dans les SubFab. Il s'agit notamment de composants et de systèmes pour l'alimentation en gaz, les circuits de refroidissement, la technique de vide et les solutions de déplacement en salle blanche. Grâce à des terminaux des distributeurs compacts, à la technologie piézoélectrique et à des capteurs intelligents, nos composants favorisent la stabilité des procédés et l'efficacité énergétique. Dans la SubFab, nos systèmes automatisés améliorent la sécurité, optimisent l’encombrement et réduisent les besoins de maintenance pour les procédés d’approvisionnement critiques. On distingue les produits du catalogue, y compris les produits de base, avec une très bonne disponibilité mondiale, des solutions personnalisées, conçues selon vos spécifications.

Quelle expertise Festo possède-t-elle dans les domaines de l'unité de fin de chaîne cinématique, du back-end et de l'Advanced Packaging ?

Nous possédons une longue et vaste expérience dans les domaines du front-end, du back-end et de l'Advanced Packaging. Une grande partie de notre gamme de produits a été mise au point en étroite collaboration avec l'industrie, selon vos exigences. Parmi ses clients, Festo compte presque tous les fabricants et équipementiers internationaux de renom. Nos produits éprouvés et innovants comprennent des solutions personnalisées pour chacune de ces étapes de production, du traitement des wafers au montage et au conditionnement. Grâce à une connaissance approfondie des besoins et des défis de nos clients, nous sommes capables de proposer des solutions sur mesure qui répondent efficacement aux exigences de précision, de propreté et de fiabilité à toutes les étapes de la fabrication des semi-conducteurs.

Quels sont les prestations et services supplémentaires que propose Festo à l'industrie des semi-conducteurs ?

Partenaire de confiance de l'industrie des semi-conducteurs, nous proposons, outre nos solutions d'automatisation, une assistance technique, des conseils en matière d'applications et des solutions système sur mesure pour répondre à des exigences de production spécifiques. En outre, nous vous accompagnons avec des services numériques, comme la surveillance de l'état, la maintenance prédictive et l'utilisation de l'IA pour optimiser les processus. Des formations, une assistance technique internationale et une livraison rapide de pièces de rechange complètent notre offre de services.

Quelles sont nos prestations et nos normes qui revêtent une importance particulière pour les fabricants de semi-conducteurs ?

Pour nos clients de l'industrie des semi-conducteurs, ce sont en particulier nos produits adaptés aux salles blanches, la sécurité maximale des procédés et une longue durée de vie qui comptent. Si quelque chose ne fonctionne pas comme prévu, Festo analyse rapidement la cause du dysfonctionnement à l'aide de méthodes d'analyse modernes. De plus, nous avons mis en place une gestion complète des modifications et des fins de série, qui nous permet de répondre à vos exigences sectorielles, comme la norme « CopyExact! (CE!) ». En outre, nous proposons des produits pour les applications en salle blanche, avec un double emballage sur demande.