Jedan od načina da se izdrži taj cjenovni pritisak je znatno smanjenje potrošnje dušika i energije potrebne za njegovu proizvodnju. Dušik je medij koji se najčešće koristi u procesu proizvodnje poluvodiča. U velikim tvornicama poluvodiča potrošnja dušika može iznositi i do 50.000 kubnih metara po satu. Među ostalim, dušik se upotrebljava za pročišćavanje FOUP-ova kako bi se stvorilo kontrolirano okružje bez kontaminacije za pločice koje se transportiraju od jednog stroja do drugog radi obrade.
Pomna analiza područja u kojima se dušik upotrebljava u tvornici i ciljano smanjenje potrošnje mogu dovesti do znatnih ušteda u kratkom razdoblju. Posebno ispiranje FOUP-ova nudi mnoge mogućnosti za učinkovitu uporabu dušika aktivnim doziranjem sa zatvorenom petljom. U usporedbi s konvencionalnim ventilima, piezoelektrični ventili za ispiranje doziraju se s visokom preciznošću, a istodobno troše mnogo manje energije. Uz odgovarajuće sustave, potrošnja dušika u velikoj tvornici kao i povezana potrošnja energije i emisije CO2 mogu se znatno smanjiti.
