Werner Alber： 流量制御は時間当たりの気体の体積を測定し、圧力と温度の変動に敏感に反応します。 一方、マスフロー制御は実際のガスの質量を記録し、周囲条件に関係なく一定の値を保証するもので、医療技術や半導体製造のような精密なアプリケーションに最適です。
つまり 流量制御が体積に焦点を当てるのに対し、マスフロー制御は外部からの影響に関係なく、常に同じ質量のガスがシステム内を流れるようにします。
Werner Alber： あるプロセスで常に同じ量のガスを供給しなければならないとします。 従来の容積式フローレギュレータを10 l/minに設定した場合、ある条件下ではまったく同じ量のガスしか得られません。 温度が上がればガスは膨張し、10 l/minではガスの質量は小さくなります。 逆に圧力が高くなれば10 L中の分子の数が多くなります。 マスフローコントローラは流体の質量を決定するものです。 気体の質量は体積とは対照的に、圧力や温度に影響されないため、高精度で安定した制御が可能です。 こうしてガスのボリュームは一定に保たれ、再現性が高く効率的であるのです。 流量制御バルブが単に制御されるのとは対照的に、マスフローコントローラはマスフローを調整し、安定したプロセス条件を確保するために積極的に安定させます。 そのため、高精度で高動特性、プロセスの信頼性が要求されるアプリケーションに理想的なソリューションとなっているのです。