半導体産業のオートメーション

アプリケーション: 冷却回路の制御と調整

お客様の課題：半導体製造におけるクーラントの確実な調整

Festoのソリューション:

• VTUGバルブターミナルとVTOCバルブターミナル(1)で空気圧式流体バルブを確実に制御
• CPX-MPAバルブターミナル：バルブの制御やセンサの統合、あるいは閉ループ制御システムを構築するために追加のI/Oを必要とする場合、 このバルブターミナルなら診断やリモートメンテナンスの機能も実装可能です。
• 空気圧式やソレノイド式のバルブVZXA, VZQA, VZWF(3)が流体の流れを制御します。閉ループ制御システムにおいても、非常に低温や高温の流体を確実かつ正確に制御します。
• ターンアクチュエータDFPD(4)がボールバルブVZBF(5)やフラップバルブを動作させます。これらは通常大流量なため、冷却/温度制御流体のメインラインや供給/排出ラインで使用されます。
• SFAW(2)やSPAW(6)といったセンサが流量と流体温度、流体圧力を高精度で測定します。

半導体産業向け製品

セーフティ機能が統合されたVTOCバルブターミナルやプロセスガスの制御、メディアバルブのパイロット制御用に使用される圧力比例制御バルブVEAA/VEABなど、Festoには電子部品製造機械向けの幅広い製品ポートフォリオがあります。