安定したプロセス, 最高の精度, 最小のスペース要件など、理想的なオートメーションソリューションで半導体生産を完璧にします。 チップおよび半導体業界のパートナーとして、私たちはお客様が直面する課題を理解しています。 私たちは革新的な標準部品と、お客様のプロセスやシステムに完璧に適合するカスタマイズされたソリューションの両方でお客様をサポートします。 Festoのソリューションはパーティクルの発生やアウトガスなどの業界標準を考慮しています。
Festoの高品質でカスタマイズが容易な自動化ソリューションにより、フロントエンドからバックエンド, そしてハイブリッドボンディングのような高度なパッケージングまで革新的で競争力のある技術を使用することができます。 コンタミネーションを最小限に抑え、確実に作動し、長期的に収量を維持できるように最適化されています。 その建設的な設計によりエネルギーコストとエコロジカルフットプリントを削減できるのです。
Festoのオートメーションソリューションは半導体製造における安定した経済的な歩留まりを保証します。 また、Festoのコンポーネントはスマートな設計のため、特に適応性と拡張性に優れています。 これにより、いつでも変化する生産要件に迅速かつ容易に対応することができます。
Festoのオートメーションソリューションはこのような利点があります：
お客様のプロセスを長期的に安定させ、再現性を維持するためにFestoの総合的なソリューションをご活用ください。 セミコン専用のシールとグリースにより、アウトガスを最小限に抑え、理想的なプロセスシーケンスを実現します。 原子層堆積法(ALD)における個々の温度制御, マイクロポジショニング, ガス相の正確なサイクル制御など、Festoはお客様のためにカスタマイズされたソリューションを開発します。
例えば、以下のようなサポートがあります。
半導体メーカーが直面する複雑な課題を熟知し、カスタマイズされたソリューションを提供しています。 また、綿密な実践的専門知識とグローバルなサポートネットワークでお客様をサポートします。 Festoの専門家はお客様のシステムの機能を向上させ、ダウンタイムを最小限に抑えるお手伝いをいたします。
理想的なオートメーションパートナーとしてお任せください：
Festoの半導体産業向けオートメーションソリューションは精度, エネルギー効率, 設置スペース, 柔軟性を重視しています。 業界標準に加え、システムの経済効率も重要な前提条件です。 バルブターミナルやセンサを用いた冷却回路の精密制御, 革新的なピエゾ技術による窒素消費量の削減, コンパクトなモジュール式ハンドリングシステムによるウェハやチップの効率的なハンドリングなどが私たちのコア分野です。 さらにFestoオートメーションエクスペリエンス(Festo AX)は人工知能を使用し、品質と効率を向上させるために生産プロセスのデータベースの最適化を可能にします。 特定の用途にはピンリフタの制御や化学研磨工程のガス供給など、カスタマイズされたソリューションを提供しています。 このようにして、半導体メーカーの生産コストの削減, システムの可用性の向上, 製品品質の向上をサポートしています。
Festoのオートメーションソリューションは特に半導体産業全体, ファブのオペレータ, 生産システムのOEM, フロントエンドとバックエンドから高度なパッケージングまでのプロセスエンジニアを対象としています。 エレクトロニクスやマイクロシステム技術分野の複雑なシステムの開発者やプランナーも、Festoのソリューションの恩恵を受けています。
Festoのオートメーションソリューションは半導体製造用のシステム, ウェハ製造装置(WFE), ツール, およびサブファブでの使用を目的として設計されています。 これにはクリーンルーム内のガス供給, 冷却回路, 真空技術, 移動ソリューション用のコンポーネントやシステムが含まれます。 コンパクトなバルブターミナル, ピエゾテクノロジー, インテリジェントセンサにより、Festoのコンポーネントはプロセスの安定性とエネルギー効率をサポートします。 サブファブではFestoの自動化システムが重要な供給プロセスを安全, 省スペース, 低メンテナンスでサポートすることに貢献しています。 一次製品も含め、世界的に入手可能なカタログ製品と、お客様の仕様に合わせて製造されるお客様専用のソリューションとは区別することができます。
半導体のフロントエンド, バックエンド, アドバンスドパッケージングの分野で長年にわたる豊富な経験を有しています。 Festoの製品ポートフォリオの大部分はお客様のご要望に応じて、業界との緊密な協力のもとに開発されたものです。 Festoの顧客ベースにはほとんど全ての有名な国際的ファブやOEMが含まれています。 Festoの実績のある革新的な製品にはウェハプロセスからアセンブリ, パッケージングに至るまで各製造段階向けのカスタマイズされたソリューションがあります。 お客様のニーズと課題に対する深い知識により、半導体製造のあらゆる段階において、精度, 清浄度, 信頼性に対する高い要求を確実に満たすカスタマイズされたソリューションを提供することができます。
半導体業界の信頼できるパートナーとして、オートメーションソリューションに加え、エンジニアリングサポート, アプリケーションコンサルティング, 特定の生産要件に合わせたシステムソリューションを提供しています。 また、状態監視, 予知保全, プロセス最適化のためのAI活用などのデジタルサービスでもサポートします。 トレーニング, 世界的なテクニカルサポート, スペアパーツの迅速な配送が私たちのサービスの幅を広げています。
半導体業界のお客様にとって、Festoのクリーンルーム対応製品, 最大限のプロセス信頼性, 長寿命は特に重要です。 もし何かが計画通りに進まなかった場合、その原因を迅速に分析することができます。 また、包括的な変更中止管理システムを導入しており、"CopyExact!"のような業界標準の要件を満たすことができます。 (CE!) - また、クリーンルーム用製品も提供しており、ご要望に応じて梱包材を二重にすることも可能です。